[发明专利]一种高压电力电子芯片的自动分选装置及分选方法

权利要求书

1.一种高压电力电子芯片的自动分选装置，其特征在于，包括：控制系统(12)、承载盘(15)、绝缘液体供给装置和绝缘液清理组件；

所述绝缘液体供给装置位于承载盘(15)上部空间，绝缘液清理组件靠近承载盘(15)布置，所述控制系统(12)分别与承载盘(15)、绝缘液体供给装置、绝缘液清理组件连接；

所述控制系统(12)用于控制绝缘液体供给装置向承载盘(15)吸附的待测芯片(16)上滴液态绝缘介质，还用于在测试完成后控制绝缘液清理组件去除待测芯片(16)上的液态绝缘介质。

2.如权利要求1所述的自动分选装置，其特征在于，所述绝缘液体供给装置包括连通的绝缘液体存液管(21)和输出件(17)，所述绝缘液体存液管(21)设置在所述输出件(17)上方空间，所述压缩空气管路(20)与所述控制系统(12)连接。

3.如权利要求1所述的自动分选装置，其特征在于，所述自动分选装置还包括检测装置，所述检测装置顶部设置有探针卡(14)；

所述控制系统(12)控制承载盘(15)移动至所述探针卡(14)下方空间。

4.如权利要求3所述的自动分选装置，其特征在于，所述绝缘液清理组件包括废液吹扫装置和废液收集装置，

所述废液吹扫装置位于所述承载盘(15)上部空间；

所述废液收集装置位于所述承载盘(15)下方空间。

5.如权利要求4所述的自动分选装置，其特征在于，所述废液吹扫装置包括连通的压缩空气管路(20)和吹扫器(18)，所述压缩空气管路(20)设置于所述吹扫器(18)上方空间，所述压缩空气管路(20)与所述控制系统(12)连接。

6.如权利要求5所述的自动分选装置，其特征在于，所述废液收集包括汇流槽(22)、废液管(25)和废液瓶(26)，所述汇流槽(22)设置在所述承载盘(15)四周，所述汇流槽包括出口(23)，所述出口(23)设置于所述承载盘(15)下方，所述废液管(25)一端连接所述汇流槽(22)的出口(23)，另一端连接所述废液瓶(26)。

7.如权利要求6所述的自动分选装置，其特征在于，所述自动分选装置还包括移动装置，所述移动装置与所述控制系统(12)连接。

8.如权利要求7所述的自动分选装置，其特征在于，所述移动装置包括连通的真空管路(19)和机械手(10)，所述真空管路(19)设置于所述机械手(10)上方空间，所述真空管路(19)与所述控制系统(12)连接；

所述承载盘(15)中心设置有真空孔(24)，所述真空管路(19)与所述真空孔(24)连接。

9.如权利要求8所述的自动分选装置，其特征在于，所述自动分选装置还包括集成箱(9)，所述绝缘液体供给装置、所述废液吹扫装置和所述移动装置设置于所述集成箱(9)内。

10.如权利要求9所述的自动分选装置，其特征在于，所述自动分选装置还包括横向滑轨(6)、第一纵向滑轨(4)和第二纵向滑轨(11)，所述集成箱(9)安装于所述横向滑轨(6)上，所述横向滑轨(6)的一端连接于所述第一纵向滑轨(4)，另一端连接于所述第二纵向滑轨(11)。

11.如权利要求9所述的自动分选装置，其特征在于，所述自动分选装置还包括第一放置台(1)、第二放置台(3)和第一传送轨(2)，所述第一放置台(1)与所述第二放置台(3)通过第一传送轨(2)连接，所述待测芯片(16)由所述第一放置台(1)经所述第一传送轨(2)移动至所述第二放置台(3)，所述控制系统(12)控制所述移动装置在所述第二放置台(3)与所述承载盘(15)之间移动所述待测芯片(16)。