[发明专利]一种光谱显微成像装置有效
申请号: | 202010825276.9 | 申请日: | 2020-08-17 |
公开(公告)号: | CN112097905B | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 颜成钢;吕彬彬;孙垚棋;张继勇;张勇东 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | G01J3/12 | 分类号: | G01J3/12;G01B9/04 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 朱月芬 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光谱 显微 成像 装置 | ||
1.一种光谱显微成像装置的实现方法,其特征在于,光谱显微成像装置包括:照明光源(1),载物台(2),显微物镜(3),视场光阑(4),4F中继透镜(5),闪耀光栅(6),带通滤波器(7),微透镜阵列(8)和灰度相机(9),且自左向右依次设置;所述的4F中继透镜(5)共有三组,分别设置在视场光阑(4)和闪耀光栅(6)之间、带通滤波器(7)和微透镜阵列(8)之间以及微透镜阵列(8)和灰度相机(9)之间;
照明光源(1)将载物台(2)上的观测物体照亮,显微物镜(3)的成像镜头将观测物体的实像成像在视场光阑(4)所在平面,经过4F中继透镜(5)映射在闪耀光栅(6)表面,此时,观测物体的实像与闪耀光栅(6)的刻线面重合;
映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像发生色散,带通滤波器(7)将闪耀光栅亮度最高的+1级中待记录的光谱波段单独通过,经过4F中继透镜(5)重新汇聚到微透镜阵列(8)上;然后在微透镜焦平面(10)上沿着一个维度发生色散,观测物体色散后的实像经过4F中继透镜(5)成像在灰度相机(9)的像素阵列上;
光谱显微成像装置的实现方法,包括如下步骤:
步骤一:照明光源(1)将载物台(2)上的观测物体照亮,显微物镜(3)的成像镜头将观测物体的实像成像在视场光阑(4)所在平面,经过4F中继透镜(5)映射在闪耀光栅(6)表面,此时,观测物体的实像与闪耀光栅(6)的刻线面重合;
步骤二:映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像发生色散,带通滤波器(7)将闪耀光栅亮度最高的+1级中待记录的光谱波段L1至Ln单独通过,经过4F中继透镜(5)重新汇聚到微透镜阵列(8)上;
步骤三:由于映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像存在色散角度,因此不同波长的光重新汇聚在微透镜阵列(8)上实像存在不同的出射角,并且在微透镜焦平面(10)上沿着一个维度发生色散,观测物体色散后的实像经过4F中继透镜(5)成像在灰度相机(9)的像素阵列上;
步骤四:微透镜阵列(8)中每一个微透镜对应灰度相机(9)的像素阵列中的一块子像素(11)区域,子像素(11)大小为N×N个像素,其中N为奇数,并且经过该微透镜的出射光会投射到子像素(11)的中间一行像素上,此时,将子像素(11)中中间一行对应位置的像素重新组合,组合方式为,将每个微透镜对应的子像素(11)中的第(N+1)/2行的第i个像素按照微透镜位置排序组合为第i张图像Ai,其中i=1,2……N,即可得到载物台(2)上观测物体在λi波长下对应的光谱图像Ai,其中λi=L1+(i-0.5)×(Ln-L1)/N;
子像素(11)大小为N×N个像素,其中N为奇数,且,3N13。
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