[发明专利]一种清洗设备

权利要求书

1.一种清洗方法，其特征在于，其中所述清洗方法包括以下步骤：

(S1)沸化位于清洗腔中的清洗液；和

(S1)在密封且盛装有清洗液的清洗腔中形成预定大小的气泡，以在位于所述清洗腔中的所述器件与粘附于所述器件上的污渍之间形成由所述气泡爆裂而产生的冲击力，进而清除位于所述器件上的污渍。

2.根据权利要求1所述清洗方法，其特征在于，通过降低位于被密封的所述清洗腔中的气压，以沸化位于所述清洗腔中的所述清洗液。

3.根据权利要求2所述清洗方法，其特征在于，通过向位于被密封的所述清洗腔中，以预定的速度充入预定气体至所述清洗腔，以调整所述清洗腔中的真空度。

4.根据权利要求3所述清洗方法，其特征在于，分隔通入所述清洗腔中的气体，以在所述清洗腔中形成预定大小的所述气泡。

5.根据权利要求1至3中任一所述清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括步骤：

(S3)自动地封盖清洗腔连通的所述送料口，以使得所述清洗腔被密封。

6.根据权利要求3所述清洗方法，其特征在于，控制所述清洗腔的真空度由小到大和有大到小进行变化，以使气泡体积由小到大和有大到小的变化。

7.根据权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述清洗液为去离子水。

8.根据权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：

自动地向所述清洗腔中注入预定量的所述清洗液；

在所述清洗液沸化预定时间之后，导出所述清洗液；和

新加入所述清洗液至所述清洗腔。

9.根据权利要求1或7所述清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：

在导出所述清洗液后，风干位于所述清洗腔中的待清洗的器件。

10.根据权利要求1或7所述清洗方法，其特征在于，在所述步骤(S1)之前或在所述步骤(S2)之后，所述清洗方法包括以下步骤：

喷淋清洗液至位于所述清洗腔中的所述器件。