[发明专利]激光超声扫描成像装置以及激光超声扫描成像系统

权利要求书

1.一种激光超声扫描成像装置，其特征在于，所述激光超声扫描成像装置包括：

脉冲激光器，用于发射脉冲激光；

承载台，用于放置待测样品，所述待测样品在所述脉冲激光的激励下产生超声波；

检测装置，用于对所述待测样品进行超声波检测；

其中，所述承载台被配置为可沿预设轨迹移动，以使所述脉冲激光对所述待测样品进行扫描。

2.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述预设轨迹包括多个采样点，所述承载台被配置为沿所述预设轨迹移动时，在每个所述采样点停留预设时间，以使所述检测装置进行超声波检测。

3.根据权利要求2所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述多个采样点阵列分布。

4.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述激光超声扫描成像装置还包括偏转组件，所述偏转组件设置于所述脉冲激光的光路上，用于调整所述脉冲激光的偏转角度。

5.根据权利要求4所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述预设轨迹包括多个采样点，所述承载台被配置为沿所述预设轨迹移动时，在每个所述采样点停留预设时间，所述偏转组件被配置为在所述预设时间内调整所述脉冲激光的偏转角度，以使所述脉冲激光对包含所述采样点在内的设定区域内进行扫描。

6.根据权利要求5所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述检测装置用于在每个所述设定区域的扫描期间，进行多次超声波检测以得到多个初始检测信号，并根据所述多个初始检测信号的平均值确定最终检测信号。

7.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述检测装置包括：

激光发射器，用于发射检测激光；

激光接收器，用于接收所述待测样品反射所述检测激光形成的反射激光；

处理器，用于根据所述检测激光和所述反射激光确定所述待测样品的位移，以对所述待测样品进行超声波检测。

8.根据权利要求7所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述激光超声扫描成像装置还包括二向色镜，所述二向色镜设置于所述脉冲激光和所述检测激光的光路上，所述二向色镜用于对所述脉冲激光和所述检测激光中的一者进行透射，对所述脉冲激光和所述检测激光中的另一者进行反射，使得透光形成的激光和反射形成的激光平行。

9.根据权利要求1所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述激光超声扫描成像装置还包括：

驱动器，连接所述承载台，用于接收外部设备发送的控制指令，并根据所述控制指令控制所述承载台的移动；

脉冲信号发生器，连接所述承载台和所述脉冲激光器，用于接收所述承载台发送的位置反馈信号，生成脉冲信号；

所述脉冲激光器用于根据所述脉冲信号产生对应的脉冲激光。

10.根据权利要求9所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述脉冲信号发生器为函数发生器。

11.根据权利要求9所述的激光超声扫描成像装置，其特征在于，

所述激光超声扫描成像装置还包括：

同步器，连接所述脉冲激光器和所述检测装置，用于在所述脉冲激光器产生脉冲激光时，生成同步信号；

所述检测装置用于根据所述同步信号对所述待测样品进行超声波检测，并将检测信号发送给所述外部设备。

12.一种激光超声扫描成像系统，其特征在于，所述激光超声扫描成像系统包括：

激光超声扫描成像装置，所述激光超声扫描成像装置是如权利要求1-11任一项所述的激光超声扫描成像装置；

控制设备，连接所述激光超声扫描成像装置，用于控制所述激光超声扫描成像装置工作，并对所述激光超声扫描成像装置获取的检测信号进行处理，以得到待测样品的波形影像。