[发明专利]一种结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，对于需要制备涂层的基材，在其表面进行加工，使其表面具有多个凸起或凹坑；或者，对于需要制备涂层的基材，在其表面进行加工，使其表面具有一定粗糙度；

步骤2，对经过步骤1加工后的基材表面，采用原子层沉积技术制备耐腐蚀涂层；

步骤3，在已制备的耐腐蚀涂层上，采用物理气相沉积技术制备抗磨损涂层，得到最终的结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层。

2.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤1所述基材为金属材料、非金属材料或复合材料。

3.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤1所述凸起的形状为条纹、圆形、方形或菱形，凸起的高度为50纳米至400纳米，凸起的表面分布密度为10％至80％；凹坑的形状为条纹、圆形、方形或菱形，凹坑的深度为50纳米至400纳米，凹坑的表面分布密度为10％至80％。

4.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤1所述一定粗糙度的尺度为20纳米至400纳米。

5.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤2所述耐腐蚀涂层为氧化物、氮化物或碳化物。

6.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤2所述耐腐蚀涂层的厚度为20纳米至200纳米。

7.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤3所述抗磨损涂层为氮化物、碳化物或硼化物。

8.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤3所述抗磨损涂层的厚度为500纳米至4微米。

9.根据权利要求1所述结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层的制备方法，其特征在于，步骤3所述抗磨损涂层为二元素或多元素涂层。

10.权利要求1～9任一项所述制备方法制备得到的结合力增强抗磨损耐腐蚀复合涂层。