[发明专利]一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪

权利要求书

1.一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，包括环形导轨(4)，环形导轨(4)上设有三个滑动模块(5)，三个滑动模块(5)分别设有各自独立的驱动机构，由每个驱动机构驱动相应的滑动模块(5)沿环形导轨(4)在周向上滑动；三个滑动模块(5)上分别设有光源(1)、弯晶分析器(2)、探测器(3)，光源(1)和弯晶分析器(2)的中心通过连接杆一(6-1)相连，探测器(3)和弯晶分析器(2)的中心通过连接杆二(6-2)相连，连接杆一(6-1)的两端分别与光源(1)和弯晶分析器(2)的中心铰接，确保光源(1)和弯晶分析器(2)的相对方向及角度；连接杆二(6-2)的两端分别与探测器(3)和弯晶分析器(2)的中心铰接，确保探测器(3)和弯晶分析器(2)的方向及角度；探测器(3)前端依次设置狭缝(7)和样品(8)，探测器(3)与信号处理系统(9)相连，探测器(3)先后采集X射线经过样品(8)插入前和样品(8)插入后的强度数据，信号处理系统(9)对样品插入前后的探测器(3)读出的强度数据求差值得到X射线吸收谱。

2.如权利要求1所述的一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，所述环形导轨(4)的曲率半径大于、等于或者小于(100％±20％)×R，R为所述弯晶分析器(2)的罗兰圆曲率半径。

3.如权利要求1所述的一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，所述环形导轨(4)上设有环形齿轮；每个所述驱动机构包括驱动电机及设置在驱动电机输出轴上的驱动齿轮，驱动齿轮与环形齿轮相啮合；三个滑动模块(5)进行同向θ-2θ扫描模式或者反向θ-θ扫描模式，同向是指所述弯晶分析器(2)与所述探测器(3)的转动方向相同或所述光源(1)与弯晶分析器(2)的转动方向相同，反向是指所述光源(1))与所述探测器(3)的转动方向相反；三个所述驱动机构的驱动电机分别采用相同或不同的传动比。

4.如权利要求1所述的一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，所述光源(1)为X光管、转靶X光源、激光等离子体X光源、液态金属靶X光源、金刚石微聚焦X光源、同步辐射X光源或自由电子激光X光源。

5.如权利要求1所述的一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，所述弯晶分析器(2)为全聚焦型弯晶分析器或者半聚焦型弯晶分析器，采用了弯晶作为单色器，提高了单色化光子的利用效率；所述弯晶分析器(2)为球面、双曲面或抛物面；所述弯晶分析器(2)为至少1块；所述弯晶分析器(2)材料采用单晶材料。

6.如权利要求1所述的一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，所述单晶材料包括硅、锗、石英、蓝宝石或高定向热解石墨。

7.如权利要求1所述的一种高性能紧凑型X射线吸收光谱仪，其特征在于，所述探测器为硅漂移探测器、气体探测器、闪烁体探测器或半导体探测器。