[发明专利]一种智能化SO3

权利要求书

1.一种智能化SO₃标准气体制备系统，包括主控系统(a)、配气系统(b)、反应系统(c)和检测系统(d)，所述主控系统(a)与配气系统(b)连接，所述配气系统(b)与反应系统(c)连接，所述反应系统(c)与检测系统(d)连接，所述检测系统(d)与主控系统(a)连接，所述主控系统(a)与反应系统(c)连接，

其特征在于：所述主控系统(a)包括主控MCU(1)、触摸屏(2)、上位机(3)、温控模块(4)、串口模块(5)和电源模块(6)，所述触摸屏(2)、上位机(3)、温控模块(4)、串口模块(5)和电源模块(6)均与主控MCU(1)连接，

所述配气系统(b)包括N₂气体质量流量控制器(7)、SO₂气体质量流量控制器(8)、O₂气体质量流量控制器(9)、臭氧发生器(10)和气体混合器(11)，所述臭氧发生器(10)与O₂气体质量流量控制器(9)连接，所述N₂气体质量流量控制器(7)、SO₂气体质量流量控制器(8)和O₂气体质量流量控制器(9)均与气体混合器(11)连接，

所述反应系统(c)包括气体反应器(12)、一号电磁阀(17)、二号电磁阀(18)和三号电磁阀(19)，所述一号电磁阀(17)、二号电磁阀(18)和三号电磁阀(19)均与气体反应器(12)连接，

所述检测系统(d)包括紫外光源(13)、气体吸收池(14)、光谱仪(15)、压力表(16)和电磁阀(20)，所述紫外光源(13)、光谱仪(15)、压力表(16)和电磁阀(20)均与气体吸收池(14)连接。

2.根据权利要求1所述的智能化SO₃标准气体制备系统，其特征在于：所述气体反应器(12)的两端连接有反应器旁路(29)，所述一号电磁阀(17)和二号电磁阀(18)均安装在反应器旁路(29)上，所述气体混合器(11)与气体反应器(12)连接，所述反应器旁路(29)与气体吸收池(14)连接。

3.根据权利要求1所述的智能化SO₃标准气体制备系统，其特征在于：所述气体混合器(11)包括进气孔(21)、混合器壳体(22)和出气孔(23)，所述进气孔(21)和出气孔(23)均设置在混合器壳体(22)上、且与混合器壳体(22)连通。

4.根据权利要求1所述的智能化SO₃标准气体制备系统，其特征在于：所述气体反应器(12)包括密封装置(24)、反应器主体(25)、热电偶安装管路(26)、保温隔热层(27)和加热带(28)，所述反应器主体(25)的两端均设置有密封装置(24)，所述热电偶安装管路(26)与反应器主体(25)连接，所述反应器主体(25)的外壁缠绕有加热带(28)和保温隔热层(27)。

5.根据权利要求4所述的智能化SO₃标准气体制备系统，其特征在于：所述反应器主体(25)的内壁具有纳米涂层，具有防腐、耐高温、防老化的特性，所述保温隔热层(27)内填充有保温隔热材料。

6.根据权利要求3所述的智能化SO₃标准气体制备系统，其特征在于：所述气体混合器(11)为三角切圆混合器，沿气体混合器(11)的径向方向布置三个进气孔(21)，相邻两个进气孔(21)的轴线之间互成120°夹角，气体沿进气孔(21)进入气体混合器(11)后沿气流方向形成切向圆。

7.根据权利要求6所述的智能化SO₃标准气体制备系统，其特征在于：所述三个进气孔(21)分别与N₂气体质量流量控制器(7)、SO₂气体质量流量控制器(8)和O₂气体质量流量控制器(9)连接，所述出气孔(23)与气体反应器(12)连接。