[发明专利]一种对废铝刻蚀液进行回收利用的方法

权利要求书

1.一种对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）废铝刻蚀液经减压蒸馏后分离出质量分数为90%以上的磷酸，剩余的为硝酸、醋酸及水的混酸溶液；

（2）将混酸溶液通过塔间连续进料打入精馏塔中，通过精馏工艺分离出硝酸、醋酸和水，水作为轻组分经过精馏后通过塔顶连续采出，而硝酸、醋酸主要集中在塔釜，当塔釜混酸含量达到70%以上后通过蠕动泵连续采出。

2.根据权利要求1所述的对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，废铝刻蚀液包括磷酸、硝酸、醋酸、水，其中，磷酸的含量为30-75%，硝酸的含量为4.0-28%，醋酸的含量为9-35%，水10-35%。

3.根据权利要求1所述的对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，步骤（1）中减压蒸馏过程中，真空度为0.05-0.1MPa，温度为80-100℃，保温减压蒸馏1-2h。

4.根据权利要求1所述的对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，步骤（2）中混酸溶液进入温度为102-103℃。

5.根据权利要求1所述的对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，步骤(2)精馏塔中塔釜内溶液沸腾温度在103~110℃之间，塔顶蒸汽温度为99~100℃。

6.根据权利要求1所述的对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，步骤(2)中采出回流比为3-4:1。