[发明专利]一种单多晶硅棒自动检测装置

权利要求书

1.一种单多晶硅棒自动检测装置，其特征在于，包括底座(1)，底座(1)上沿着晶硅的输送方向设置有上下料单元(2)和外形检测单元(3)，所述上下料单元(2)固设在外形检测单元(3)的两侧，用于上料和下料，所述外形检测单元(3)的上方设置有上下料移载单元(4)，用于移载晶硅，上下料移载单元(4)上还固设有硬质点检测单元(5)，用于对晶硅进行硬质点检测。

2.根据权利要求1所述的一种单多晶硅棒自动检测装置，其特征在于，所述上下料单元(2)包括下料组件(201)和上料组件(202)；

所述下料组件(201)包括下料盛料台(2011)、第一直线模组(2012)和下料缓冲台，所述第一直线模组(2012)与晶硅输送方向相垂直设置并与底座(1)固连，下料盛料台(2011)通过第一直线模组(2012)与底座(1)滑动连接，下料缓冲台与下料盛料台(2011)固连；

所述上料组件(202)包括上料盛料台(2021)、位于水平面内相互垂直的第二直线模组(2022)和第三直线模组(2023)，所述第二直线模组(2022)与底座(1)固连并与第一直线模组(2012)相平行设置，第三直线模组(2023)固设于上料盛料台(2021)的内部，推动晶硅在上料盛料台(2021)上沿输送方向滑动，上料盛料台(2021)的下底面与第二直线模组(2022)相连接，带动上料盛料台(2021)沿与晶硅输送方向相垂直的方向滑动。

3.根据权利要求2所述的一种单多晶硅棒自动检测装置，其特征在于，所述下料缓冲台沿晶硅的输送方向设置，且其底部两端通过第一导轨气缸与下料盛料台(2011)固连。

4.根据权利要求1或3所述的一种单多晶硅棒自动检测装置，其特征在于，所述外形检测单元(3)包括外形检测固定座(301)、沿晶硅输送方向相对设置的侧面视觉组件(302)、位于侧面视觉组件(302)同一端的端部固定视觉组件(303)和端部固定传感器组件(305)、与外形检测固定座(301)滑动连接的端部移动视觉组件(304)和端部移动传感器组件(306)，所述侧面视觉组件(302)与外形检测固定座(301)固连，且两个侧面视觉组件(302)之间形成容纳晶硅的空间。

5.根据权利要求4所述的一种单多晶硅棒自动检测装置，其特征在于，所述侧面视觉组件(302)包括两个第一安装座(3021)、第一频闪光源(3022)和多个侧面视觉相机(3023)，所述第一频闪光源(3022)和多个侧面视觉相机(3023)均沿着晶硅的长度方向设置并通过第一安装座(3021)与外形检测固定座(301)固连；

所述端部固定视觉组件(303)包括第二安装座(3031)、第二频闪光源(3032)和固定相机(3033)，第二频闪光源(3032)和固定相机(3033)由上到下与第二安装座(3031)固连并通过第二安装座(3031)与外形检测固定座(301)固连；

所述端部固定传感器组件(305)包括第三安装座和至少一个第一传感器(3051)，第一传感器(3051)与第三安装座固连，所述第三安装座通过第一滑台气缸与底座(1)固连，实现第一传感器(3051)在竖直方向伸缩定位；

所述端部移动视觉组件(304)包括第四直线模组(3041)、第三频闪光源(3042)、端部移动视觉相机(3043)和第四安装座(3044)，第四直线模组(3041)沿晶硅输送方向与外形检测固定座(301)固连，第四安装座(3044)的底部与第四直线模组(3041)滑动连接，第三频闪光源(3042)和端部移动视觉相机(3043)由上到下与第四安装座(3044)固连；

所述端部移动传感器组件(306)包括在水平面内垂直设置的第五直线模组(3061)和第二滑台气缸、第五安装座(3062)以及端部移动传感器(3063)，第五直线模组(3061)沿晶硅输送方向设置并与外形检测固定座(301)固连，所述第五安装座(3062)与第五直线模组(3061)滑动连接，所述端部移动传感器(3063)通过第二滑台气缸与第五安装座(3062)相连。