[发明专利]一种连续光532nm绿光激光器及其控制方法

权利要求书

1.一种连续光532nm绿光激光器，其特征在于，所述激光器包括：激光源和激光谐振腔，所述激光谐振腔包括：谐振光路、倍频光路和分光光路；

所述激光源输出的激光经过所述谐振光路后产生谐振光输出至所述倍频光路，所述激光源输出的激光方向为入射光路方向；

所述倍频光路包括至少两个串联的倍频晶体，对所述谐振光进行倍频产生532nm激光后输出至所述分光光路；所述分光光路包括分色镜，所述分色镜将所述谐振光和倍频的532nm激光分离后输出所述532nm激光；

所述谐振光路包括准直系统、平凸镜M1、激光晶体C1、平面全反镜M2和分色镜M4；所述平凸镜M1和激光晶体C1设置在所述入射光路上；

所述激光经过所述准直系统准直后射入所述平凸镜M1的平面，所述平凸镜M1在所述入射光路上倾斜设置，所述激光晶体C1和所述平面全反镜M2设置靠近在所述平凸镜M1的凸面的一侧，所述平面全反镜M2设置在所述平凸镜的倾斜方向的延伸光路上；

所述分色镜M4设置在所述入射光路上，一面为透射面，另一面为分色面；

所述谐振光路输出的谐振光射入所述分色镜的透射面，所述分色镜相对于所述入射光路倾斜设置，所述倍频光路设置在靠近所述分色面的一端且位于所述入射光路上，对所述谐振光进行倍频后返回至所述分色面；

所述倍频光路包括依次设置在所述入射光路上的倍频晶体C2、倍频晶体C3和平面全反镜M3；

透射过所述分色镜M4的激光依次经过所述倍频晶体C2和倍频晶体C3倍频后再经过所述平面全反镜M3进行全反射后返回至所述分色面。

2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，

倍频后的谐振光射入倾斜设置的所述分色镜M4后的射出光的光路上设置有532nm全反镜M5，所述射出光经过所述532nm全反镜M5转折后生成的出射光路与所述入射光路平行。

3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述出射光路上还设置有AOM开关。

4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述激光源包括主控电路、半导体模块、半导体模块驱动电路、AOM驱动器、AOM控制电路和高精度温度控制电路；所述主控电路控制连接所述半导体模块驱动电路、AOM控制电路和高精度温度控制电路；

所述半导体模块驱动电路输出所需的直流信号驱动所述半导体模块发出泵浦光；

所述AOM控制电路输出开关控制信号作用于AOM驱动器，所述AOM驱动器输出对应的射频信号作用在所述AOM开关上通过超声波场的衍射效应实现光开关作用；

所述高精度温控系统用于对所述半导体模块和所述倍频光路进行温度控制。

5.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光器还包括水冷却系统，所述水冷却系统包括覆盖所有热源的井字形水道。

6.一种根据权利要求1-5任一项所述的激光器的控制方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤1，主控系统控制半导体模块发光，同时水冷系统工作，温控系统维持半导体模块温度稳定；

步骤2，半导体模块发出的泵浦光经过所述准直系统，聚焦到所述激光晶体的端面，使所述激光晶体吸收后产生自发辐射，逐渐形成稳定的谐振光；

步骤3，通过调整半导体模块的输出功率，匹配所述激光谐振腔的工作状态使所述激光谐振腔处在设定的最佳工作模式；通过所述倍频光路和分光光路产生并输出532nm绿激光；

步骤4，通过调制AOM开关，实现激光输出的开关。