[发明专利]一种真空排气装置及真空排气方法

说明书

本发明涉及抽真空技术领域，尤其公开了一种真空排气装置及真空排气方法，真空排气装置包括主管道件、干式涡旋泵、检漏仪、分子泵、真空检测仪及多个第一阀体，干式涡旋泵经由分子泵与主管道件连通，主管道件分别经由多个第一阀体与外界的多个排气器件连通；检漏仪分别连通干式涡旋泵及分子泵，真空检测仪用于测量排气器件的真空度，检漏仪用于测量是否漏气；本发明的真空排气装置构造简单，使用方便，一次性即可完成多个排气器件的排气抽真空；经由检漏仪的设置，借助第一阀体方便、快速地关闭漏气的排气器件；借助真空检测仪，保证多个排气器件的真空度的准确性及一致性；提升排气器件的抽真空效率及抽真空良率。

技术领域

本发明涉及抽真空技术领域，尤其公开了一种真空排气装置及真空排气方法。

背景技术

红外辐射在我们身边无处不在，利用红外热像观察物体无需外界光源，红外热像相比可见光具有更好的穿透烟雾的能力，红外热像是对可见光图像的重要补充手段。对于红外辐射的检测及利用渗透到现代军事、工业、生活的各个方面，广泛用于红外制导、红外夜视、安防监控和视觉增强等多个领域。

由于人眼对于红外辐射没有响应，因此对于红外辐射的感知和检测必须利用专门的红外探测器，微测辐射热计非制冷红外焦平面阵列探测器即为常用的红外探测器，微测辐射热计非制冷红外焦平面阵列探测器的研究始于20世纪末，21世纪开始走入大规模批量生产和应用，特别随着在军事领域应用外的商业民用的安防和汽车等领域的大规模应用，预计2020年以后随着产品像素的提高和价格的降低将呈现爆炸式的增长。

微测辐射热计非制冷红外焦平面阵列探测器是利用物体体电阻对温度的敏感性制成的，为了尽可能的增加器件的热绝缘性，减小热导以提高器件的灵敏度，现在大多采用MEMS技术实现悬浮微桥结构来解决这一问题，它主要采用两臂支撑的微桥实现热绝缘，Si、N作为支撑薄膜，微桥下方的硅衬底被掏空，微桥桥面上制作多晶锗硅Poly-Si07Ge03，薄膜电阻作热敏探测源，为了提高对红外的吸收，还配置有Sio／SiN等复合膜作为红外吸收层。

这种采用MEMS技术和大规模集成电路生产工艺的应用使得探测器整体性能不断提高、成本不断降低，由于这种探测器利用的是物体体电阻对温度的敏感性制成的必须减小热导以提高器件的灵敏度，器件内部必须减少气体分子的密度封装在真空环境中，将气体分子的热传导降到最低，因此超高真空排气技术是微测辐射热计非制冷红外焦平面阵列探测器生产的核心关键工艺，也是增加产量的受制约瓶颈。

现有技术中对微测辐射热计非制冷红外焦平面阵列探测器等排气器件进行排气抽真空的构造复杂，操作使用费时费力，且排气抽真空的过程中不可控，使用极其不便，导致排气器件的排气抽真空效率低下且良率不稳定。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本发明的目的在于提供一种真空排气装置及真空排气方法，构造简单，使用方便，一次性即可完成多个排气器件的排气抽真空；经由检漏仪的设置，借助第一阀体方便、快速地关闭漏气的排气器件；借助真空检测仪，保证多个排气器件的真空度的准确性及一致性；提升排气器件的抽真空效率及抽真空良率。

为实现上述目的，本发明的一种真空排气装置，包括主管道件、干式涡旋泵、检漏仪、分子泵、真空检测仪及多个第一阀体，干式涡旋泵经由分子泵与主管道件连通，主管道件分别经由多个第一阀体与外界的多个排气器件连通，第一阀体用于调控主管道件与排气器件的通断；第一阀体、排气器件一一对应，检漏仪分别连通干式涡旋泵及分子泵，干式涡旋泵与分子泵配合用于对多个排气器件进行真空排气，真空检测仪用于测量排气器件的真空度，检漏仪用于测量是否漏气。

其中，还包括升降机构及与升降机构配合使用的烘烤箱，升降机构用于驱动烘烤箱罩设住主管道件及与主管道件连通的排气器件，烘烤箱用于加热排气器件，干式涡旋泵与分子泵配合并对烘烤箱加热的排气器件进行真空排气。