[发明专利]掩模板张网组件及张网装置、张网方法在审
申请号: | 202010841412.3 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN111952485A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 丁文彪;王威 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模板 组件 装置 方法 | ||
1.一种掩模板张网组件,用于将掩模板张网于掩模框架上,所述掩模板包括位于所述掩模板的相对两端的两个焊接区,所述焊接区包括相背的第一面和第二面,所述掩模框架包括相对的两个第一侧边,所述第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合;其特征在于,所述掩模板张网组件包括:
主框架,所述主框架包括用于按压所述焊接区的第二面的按压平面及与所述按压平面相背设置的背面,所述主框架的中部设有贯通所述按压平面和所述背面的镂空区域;
及,施力结构,所述施力结构设置在所述主框架上,所述施力结构能够向所述主框架上的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力,所述第一按压作用力和所述第二按压作用力的方向均垂直于所述按压平面、且大小相同。
2.根据权利要求1所述的掩模板张网组件,其特征在于,
所述主框架为沿所述第一侧边的长度方向延伸的长条形框架结构,所述镂空区域为沿所述第一侧边的长度方向延伸的长条形镂空区域。
3.根据权利要求1所述的掩模板张网组件,其特征在于,
所述施力结构包括:分别设置在所述主框架的相对两端的第一施力部和第二施力部,所述第一施力部和所述第二施力部中每一施力部均包括用于检测该施力部当前施加于所述主框架上的按压作用力大小的力学检测部件。
4.根据权利要求3所述的掩模板张网组件,其特征在于,
在所述主框架的相对两端中,每一端部连接有与所述主框架的按压平面平行的连接板,所述连接板上设有通孔;
每一施力部还包括:
连杆,所述连杆以垂直于所述按压平面的方向设置于所述通孔内,并能够在所述通孔内沿垂直于所述按压平面的方向往复移动,所述连杆包括相对的第一端和第二端,所述第一端为靠近所述主框架的一端,所述第二端为远离所述主框架的一端,所述力学检测部件设置于所述第二端;
及,弹性缓冲部件,所述弹性缓冲部件抵顶于所述连杆的所述第一端与所述连接板之间。
5.根据权利要求1所述的掩模板张网组件,其特征在于,
所述掩模板张网组件还包括:用于在所述第一侧边的长度延伸方向拉伸待夹持物的夹持机构。
6.一种掩模板张网装置,其特征在于,包括:如权利要求1至5任一项所述的掩模板张网组件。
7.一种掩模板张网方法,其特征在于,采用如权利要求6所述的掩模板张网装置,将掩模板张网于掩模框架上;所述方法包括:
夹持所述掩模板的相对两端,沿与所述第一侧边延伸方向垂直的方向拉伸所述掩模板,以使两个所述焊接区分别拉伸至所述掩模框架的两个第一侧边,其中所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面相贴合;
将所述主框架的按压平面面向所述焊接区的第二面;
通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力,下压所述主框架,使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合;
通过所述镂空区域,将所述焊接区与所述掩模框架的第一侧边表面焊接一起。
8.根据权利要求7所述的掩模板张网方法,其特征在于,
当所述掩模板为宽度小于第一预定宽度、且厚度小于第一预定厚度的第一掩模条时,所述通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力,以下压所述主框架,使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合,具体包括:
通过夹持机构在所述第一侧边的长度延伸方向上拉伸及固定一辅助焊接条的相对两端,使所述辅助焊接条叠放于所述掩模板的焊接区的第二表面上,其中所述辅助焊接条的长度延伸方向为所述第一侧边的长度延伸方向;
通过所述施力结构向所述主框架的相对两端分别施加第一按压作用力和第二按压作用力,以下压所述主框架,使所述焊接区的第一面与所述掩模框架的第一侧边表面紧密贴合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择