[发明专利]基于负泊松比结构的应变传感器阵列及其制备方法和应用在审
申请号: | 202010842975.4 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN114076564A | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 刘大顺;陈诚;吕冬;周利民;吴景深 | 申请(专利权)人: | 广州市香港科大霍英东研究院 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16;C09D11/14;C09D11/03;C09D11/107 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 欧阳锐 |
地址: | 511458 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 泊松比 结构 应变 传感器 阵列 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种基于负泊松比结构的应变传感器阵列,其特征在于,包括依次层叠设置的柔性封装层、压阻敏感层和柔性基底层;
所述压阻敏感层包括:
应变传感阵列,所述应变传感阵列由若干个传感单元相互连接而成,所述传感单元具有负泊松比性质;
柔性电极,所述柔性电极与所述应变传感阵列的两端连接;
传感线路,所述传感线路与所述柔性电极连接,所述传感线路用于为所述柔性电极和所述应变传感阵列传输电流;
薄膜基片,所述薄膜基片与所述应变传感阵列的一面贴合,所述薄膜基片用于负载所述应变传感阵列和所述柔性电极。
2.根据权利要求1所述的应变传感器阵列,其特征在于,所述传感单元为中空的内凹六角蜂窝状,所述内凹六角蜂窝的长度为15~20mm,高度为10~15mm,边缘宽度为1~2mm,内角为45°~75°。
3.根据权利要求2所述的应变传感器阵列,其特征在于,所述内凹六角蜂窝的长度为15mm,高度为12mm,边缘宽度为1.5mm,内角为60°。
4.根据权利要求1~3所述的应变传感器阵列,其特征在于,所述应变传感阵列由石墨烯油墨制成,所述石墨烯油墨的方阻为1~100kΩ/□。
5.根据权利要求4所述的应变传感器阵列,其特征在于,所述石墨烯油墨由以下重量份的原料制备而成:
所述无机导电碳材料中包括石墨烯和单壁碳纳米管,所述石墨烯和所述单壁碳纳米管的质量比为(5~10):1。
6.根据权利要求5所述的应变传感器阵列,其特征在于,所述乙基纤维素的粘度为1~100mPa·s;所述丙烯酸树脂的分子量为20000~30000;所述溶剂选用松油醇、二乙二醇丁醚醋酸酯和邻苯二甲酸二丁酯的混合溶剂。
7.根据权利要求1所述的应变传感器阵列,其特征在于,所述柔性封装层和所述柔性基底层均为聚二甲基硅氧烷材质;
所述柔性电极采用方阻为10~30mΩ/□的导电油墨制成;
所述薄膜基片为聚酰亚胺材质。
8.一种如权利要求1~7任一项所述的应变传感器阵列的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、取薄膜基片,清洗,干燥,备用;
S2、将乙基纤维素和丙烯酸树脂溶于溶剂中,加入无机导电碳材料,再加入助剂,混合均匀,研磨,得到石墨烯油墨;通过丝网印刷将石墨烯油墨印刷至薄膜基片上,烘干,得到应变传感阵列;
S3、通过丝网印刷将导电油墨印刷到应变传感阵列两端的薄膜基片上,得到柔性电极,在柔性电极上连接传感线路;
S4、将薄膜基片上未印刷石墨烯油墨和导电油墨的部分切割掉,得到压阻敏感层;
S5、将压阻敏感层的一面贴合柔性封装层,另一面贴合柔性基底层,去除气泡,加热固化,即得应变传感器阵列。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,采用乙醇、丙酮或水对薄膜基片进行超声清洗,干燥后再采用等离子清洗处理;
所述步骤S2中,石墨烯油墨研磨至细度≤10μm,在印刷前将石墨烯油墨的粘度调节为10~1000Pa·s;
所述步骤S4中,采用紫外激光对薄膜基片进行切割;
所述步骤S5中,先用氧等离子体处理薄膜基片,再将压阻敏感层分别与柔性封装层和柔性基底层贴合,采用抽真空的方式去除压阻敏感层和柔性封装层/柔性基底层之间的气泡。
10.一种如权利要求1~7任一项所述的应变传感器阵列在制备可穿戴电子设备中的应用。
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