[发明专利]一种维护效率高的光刻机曝光装置

权利要求书

1.一种维护效率高的光刻机曝光装置，包括箱体(1)和密封盖(2)，所述箱体(1)的形状为长方体，所述箱体(1)的底部设有开口，所述箱体(1)的顶部设有检修口，所述密封盖(2)盖设在箱体(1)的顶部且与检修口密封连接，其特征在于，所述箱体(1)内设有曝光机构和除尘机构；

所述曝光机构包括转动板(3)、密封组件、两个灯管(4)和两个转动组件，所述转动板(3)水平设置，两个灯管(4)方向设置在转动板(3)的顶部和底部，所述密封组件设置在转动板(3)的顶部，所述转动组件分别设置在转动板(3)的两侧；

所述密封组件包括固定管(5)、移动管(6)和两个移动单元，所述固定管(5)与转动板(3)垂直且与检修口正对设置，所述固定管(5)的顶端与箱体(1)内的顶部密封且固定连接，所述固定管(5)与转动板(3)之间设有间隙，所述移动管(6)与固定管(5)同轴设置，所述固定管(5)的底端插入移动管(6)内，所述固定管(5)与移动管(6)滑动且密封连接，所述移动管(6)的底端与转动板(3)的顶部抵靠且密封连接，所述移动管(6)的顶端与箱体(1)内的顶部之间设有间隙，位于转动板(3)顶部的灯管(4)位于移动管(6)内，所述移动单元与转动组件一一对应且设置在移动管(6)的外壁；

所述移动单元包括电磁铁(7)、磁铁板(8)、导杆(9)和第一弹簧(10)，所述导杆(9)与固定管(5)平行，所述导杆(9)的顶端固定在箱体(1)内的顶部，所述电磁铁(7)固定在导杆(9)的底端，所述磁铁板(8)与导杆(9)垂直，所述磁铁板(8)上设有导孔且固定在移动管(6)上，所述导杆(9)穿过导孔且与导孔的内壁滑动连接，所述磁铁板(8)的顶部通过第一弹簧(10)与箱体(1)内的顶部连接；

所述转动组件包括转动轴(11)、连接轴承(12)、单向轴承(13)、转动齿轮(14)、齿条(15)、支撑块(16)、第二弹簧(17)、连接杆(18)和推板(19)，所述转动轴(11)的轴线与固定管(5)的轴线垂直且相交，两个转动轴(11)同轴设置，所述转动轴(11)的一端固定在转动板(3)上，所述单向轴承(13)的内圈安装在转动轴(11)的另一端，所述连接轴承(12)的内圈安装在转动轴(11)上，所述连接轴承(12)的外圈与箱体(1)的内壁固定连接，所述转动齿轮(14)安装在单向轴承(13)的外圈，所述齿条(15)与转动齿轮(14)啮合，所述连接杆(18)与固定管(5)平行且固定在齿条(15)的顶部，所述推板(19)与连接杆(18)垂直且固定在连接杆(18)的顶端，所述推板(19)与固定管(5)轴线之间的距离小于磁铁板(8)的远离固定管(5)的一侧与固定管(5)轴线之间的距离，所述推板(19)位于磁铁板(8)的上方，所述推板(19)与磁铁板(8)之间的距离小于移动管(6)与箱体(1)内顶部之间的距离，所述支撑块(16)固定在箱体(1)的内壁上，所述支撑块(16)上设有连接孔，所述连接杆(18)穿过连接孔且与连接孔的内壁滑动连接，所述支撑块(16)与齿条(15)之间设有间隙，所述第二弹簧(17)位于支撑块(16)和推板(19)之间，所述推板(19)通过第二弹簧(17)与支撑块(16)连接；

所述除尘机构包括两个除尘组件，所述除尘组件与齿条(15)一一对应且设置在齿条(15)的底部；

所述除尘组件包括辅助管(20)、移动盘(21)、喷嘴(22)、气管(23)、第一单向阀(24)、第二单向阀(25)和进气孔，所述进气孔设置在箱体(1)的底部，所述辅助管(20)和移动盘(21)均与连接杆(18)同轴设置，所述辅助管(20)的底端与箱体(1)内的底部密封且固定连接，所述进气孔与辅助管(20)连通，所述第一单向阀(24)安装在进气孔内，所述移动盘(21)设置在辅助管(20)内且固定在齿条(15)的底部，所述移动盘(21)与辅助管(20)的内壁滑动且密封连接，所述喷嘴(22)固定在辅助管(20)的靠近固定管(5)轴线的一侧，位于转动板(3)底部的灯管(4)位于两个喷嘴(22)之间，所述气管(23)的一端固定在辅助管(20)上且与辅助管(20)连通，所述喷嘴(22)的另一端安装在气管(23)内，所述气管(23)与固定管(5)的连接处位于移动盘(21)的下方，所述第二单向阀(25)安装在气管(23)内。

2.如权利要求1所述的维护效率高的光刻机曝光装置，其特征在于，所述两个气管(23)内均安装有滤网(26)。