[发明专利]传感器元件

权利要求书

1.一种传感器元件，其是具有由氧离子传导性的固体电解质构成的基体部的、对被测定气体中的NOx的浓度进行测定的极限电流型的气体传感器的传感器元件，

所述传感器元件的特征在于，具有：

气体导入口，被测定气体从外部空间导入至该气体导入口；

第一内部空腔，该第一内部空腔在规定的扩散阻力下与所述气体导入口连通；

主泵单元，该主泵单元是构成为包括内侧泵电极、空腔外泵电极、以及存在于所述内侧泵电极与所述空腔外泵电极之间的所述固体电解质的电化学泵单元，所述内侧泵电极设置为面对所述第一内部空腔，所述空腔外泵电极设置为面对所述第一内部空腔以外的空间；

测定电极，该测定电极配置于所述传感器元件的内部，在该测定电极与所述第一内部空腔之间具有至少1个扩散速度控制部；

基准电极，该基准电极设置为能够在所述传感器元件的内部与基准气体接触；

测定泵单元，该测定泵单元是构成为包括所述测定电极、所述空腔外泵电极、以及存在于所述测定电极与所述空腔外泵电极之间的所述固体电解质的电化学泵单元；以及

加热器部，该加热器部埋设于所述传感器元件的内部，对所述传感器元件进行加热，

所述内侧泵电极至少由Pt-Au合金与氧化锆的金属陶瓷形成，具有在所述第一内部空腔的彼此对置的面中的距离所述加热器部较远一侧的面所配设的第一部分、以及在所述第一内部空腔的彼此对置的面中的距离所述加热器部较近一侧的面所配设的第二部分，

所述第二部分中的Au相对于Pt-Au合金整体的含有率比所述第一部分中的Au相对于Pt-Au合金整体的含有率小0.3wt％以上，

所述第一部分和所述第二部分的合计面积为10mm²～25mm²。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，

所述第一部分中的Au相对于Au-Pt合金整体的含有率为0.8wt％～3.0wt％，

所述第二部分中的Au相对于Au-Pt合金整体的含有率为0wt％～0.6wt％。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，

所述传感器元件还具备：

第二内部空腔，该第二内部空腔在规定的扩散阻力下与所述第一内部空腔连通；以及

辅助泵单元，该辅助泵单元是构成为包括辅助泵电极、所述空腔外泵电极、以及存在于所述辅助泵电极与所述空腔外泵电极之间的所述固体电解质的电化学泵单元，所述辅助泵电极设置为面对所述第二内部空腔，

所述测定电极设置成在其与所述第二内部空腔之间至少具有扩散速度控制部。