[发明专利]空间光调制器和波长选择开关

权利要求书

1.一种空间光调制器，其特征在于，包括：

背板，内设驱动电路；

相位调节单元，包括依次层叠设置在所述背板上的下腔镜、腔层和上腔镜，所述下腔镜位于所述腔层和所述背板之间；

电极，包括彼此绝缘的第一电极和第二电极,所述电极位于所述相位调节单元的内部或表面，且位于所述下腔镜背离所述背板的一侧；和

电连接部，电连接所述电极和所述驱动电路，以在所述第一电极和所述第二电极之间形成驱动电场，调节所述相位调节单元的折射率。

2.根据权利要求1所述的空间光调制器,其特征在于,所述驱动电路、所述相位调节单元、所述电极及所述连接部共同构成一个像素单元,所述空间光调制器包括多个所述像素单元,且多个所述像素单元呈阵列分布,相邻的所述像素单元的所述相位调节单元之间无缝连接。

3.根据权利要求1或2所述的空间光调制器，其特征在于，所述电极排布在第一面上，

所述第一面为所述上腔镜背离所述腔层的表面；或者

所述相位调节单元包括多个依次层叠设置的层结构，所述第一面为其中一个所述层结构的表面。

4.根据权利要求3所述的空间光调制器，其特征在于，所述第一电极包括第一主线和从所述第一主线一侧延伸而出的至少两个第一分支，所述第二电极包括第二主线和从所述第二主线的一侧延伸而出的至少两个第二分支，所述第一主线和所述第二主线相对设置，所述第一分支和所述第二分支构成叉指架构。

5.根据权利要求4所述的空间光调制器，其特征在于，所述第一分支和所述第二分支呈直线状；或，所述第一分支和所述第二分支呈曲线状。

6.根据权利要求4所述的空间光调制器，其特征在于，所述电连接部包括彼此绝缘隔离的第一连接部和第二连接部，所述第一连接部连接至所述第一主线，所述第二连接部连接至所述第二主线，所述第一连接部和所述第二连接部分布在所述电极的相对的两侧。

7.根据权利要求3所述的空间光调制器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极从所述第一面上的第一位置并排同步延伸至所述第一面上的第二位置。

8.根据权利要求7所述的空间光调制器，其特征在于，所述电连接部包括彼此绝缘隔离的第一连接部和第二连接部，

所述第一连接部和所述第二连接部均位于所述第一位置,所述第一位置位于所述电极的外边缘的位置。

9.根据权利要求1或2所述的空间光调制器，其特征在于，所述下腔镜、所述腔层和所述上腔镜沿第一方向依次层叠设置，所述第一电极和所述第二电极在所述第一方向上交替层叠排布。

10.根据权利要求9所述的空间光调制器，其特征在于，所述电极位于所述腔层内。

11.根据权利要求9所述的空间光调制器，其特征在于，所述电连接部包括彼此绝缘隔离的第一连接部和第二连接部，所述第一电极和所述第二电极部分重叠，所述第一电极未与所述第二电极重叠的部分连接至所述第一连接部，所述第二电极未与所述第一电极重叠的部分连接至所述第二连接部。

12.根据权利要求9所述的空间光调制器，其特征在于，所述第一电极的数量为两个或两个以上，所述第二电极的数量为两个或两个以上。

13.根据权利要求9所述的空间光调制器，其特征在于，所述相位调节单元背离所述背板的表面设有突出结构，所述突出结构用于抑制对光信号的强度调制。

14.根据权利要求1或2所述的空间光调制器，其特征在于，所述电极设置在所述上腔镜背离所述腔层的表面，所述电极的表面设有多个微柱结构，所述微柱结构用于抑制对光信号的强度调制。