[发明专利]一种基板结构及其芯片在审
申请号: | 202010850651.5 | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN112002676A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 许黎明 | 申请(专利权)人: | 上海申矽凌微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/043 | 分类号: | H01L23/043;H01L23/16;H01L23/26;H01L23/00 |
代理公司: | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人: | 王丹东;郭国中 |
地址: | 201108 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 板结 及其 芯片 | ||
1.一种基板结构,其特征在于,包括基板(1)、帽盖(2)和密封垫(3);
所述帽盖(2)为一端敞口的筒体,所述帽盖(2)扣接于所述基板(1)上,沿所述帽盖(2)与所述基板(1)连接处向外延伸一定距离形成凹槽(10);
所述密封垫(3)容置于所述凹槽(10)内,所述密封垫(3)的高度大于所述凹槽(10)的深度,所述密封垫(3)设有预设形变段(30),所述预设形变段(30)用于受压后使所述密封垫(3)对所述帽盖(2)与所述基板(1)的连接缝进行密封。
2.根据权利要求1所述的基板结构,其特征在于,所述预设形变段(30)受压后使所述密封垫(3)的表面与所述基板(1)的表面基本齐平。
3.根据权利要求1所述的基板结构,其特征在于,所述凹槽(10)为矩形槽或梯形槽。
4.根据权利要求3所述的基板结构,其特征在于,所述凹槽(10)为台阶状,所述帽盖(2)的边沿位于所述凹槽(10)内。
5.根据权利要求1所述的基板结构,其特征在于,所述密封垫(3)为橡胶垫。
6.一种芯片,其特征在于,包括采用如权利要求1至5任一权利要求所述的基板结构。
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