[发明专利]一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构

权利要求书

1.一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体(10)，其特征在于：所述主槽体(10)中插套有内槽体(20)，内槽体(20)的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板(30)，框型板(30)的外侧壁固定在主槽体(10)的内侧壁上，框型板(30)与主槽体(10)的底板之间形成主腔体(1)；

所述主槽体(10)的一侧板的上部通接有排液连接头(2)，主槽体(10)的一侧板的中部通接有进液连接头(3)，进液连接头(3)与主腔体(1)相通，排液连接头(2)处于框型板(30)的上方；

所述内槽体(20)的底板上成型有多个进液口(21)；

所述内槽体(20)中安装有中间隔板(40)，放置有硅片(100)的放置架(101)放置在中间隔板(40)的顶面上，中间隔板(40)上成型有多个流通通孔(42)；

所述内槽体(20)的顶面高于框型板(30)的顶面，内槽体(20)的上部侧壁成型有溢流通孔(22)，溢流通孔(22)处于框型板(30)的上方；

所述内槽体(20)的底板的左右两侧顶面均固定有竖直板(23)，竖直板(23)的内侧壁固定在内槽体(20)的前后两个侧板的内侧壁上，中间隔板(40)处于两个竖直板(23)之间，竖直板(23)的顶面低于内槽体(20)的顶面，竖直板(23)的顶面高于框型板(30)的顶面。

2.根据权利要求1所述的一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，其特征在于：所述主槽体(10)的底板的顶面固定有多个支撑块(4)，内槽体(20)的底板的底面压靠在支撑块(4)的顶面上。

3.根据权利要求1所述的一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，其特征在于：所述内槽体(10)的底板的顶面上固定有多个连接螺柱(5)，中间隔板(40)的边部成型有多个定位通孔(43)，连接螺柱(5)的上部伸出定位通孔(43)的顶面，固定螺母(6)螺接在连接螺柱(5)的顶部上，固定螺母(6)的底面压靠在中间隔板(40)的顶面上。

4.根据权利要求3所述的一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，其特征在于：所述连接螺柱(5)上插套有隔套(7)，隔套(7)的底面压靠在内槽体(20)的底板的顶面上，隔套(7)的顶面压靠在中间隔板(40)的底面上。

5.根据权利要求4所述的一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，其特征在于：所述定位通孔处的中间隔板(40)的底面上固定有连接套(8)，隔套(7)插套在连接套(8)中，隔套(7)的外侧壁紧贴连接套(8)的内侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，其特征在于：所述竖直板(23)的内侧壁上固定有折弯架(50)，折弯架(50)的竖直板部上螺接有调节螺栓(51)，调节螺栓(51)的螺杆的端部伸出折弯架(50)的竖直板部的内侧壁并铰接有压紧块(52)，压紧块(52)压靠在放置架(101)的外侧壁上。