[发明专利]一种晶圆抓取机械手

说明书

本发明公开一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板，所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽，弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽，中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽，伸缩臂插套在中心通槽中，伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条，导向凸起条插套在对应的中部导向槽中。本发明通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。

技术领域

本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆抓取机械手。

背景技术

现有的半导体加工中，其晶圆加工设备中，其需要将晶圆进行多次抓取和输送，现有的抓取方式最常用的是真空吸盘吸附，其效果好，但是，在一些抓取机构中，无法安装真空吸盘时，就只能采用托盘方式托起晶圆，其一般是需要整个机械手移动，而机械手由于体积过大，抓取并不方便。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆抓取机械手，它通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。

本发明的技术解决措施如下：

一种晶圆抓取机械手，包括机械手固定板，所述机械手固定板的右端中部成型有弧形槽，弧形槽的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽，中心通槽的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽，伸缩臂插套在中心通槽中，伸缩臂的前后两个侧壁上成型有导向凸起条，导向凸起条插套在对应的中部导向槽中；

所述机械手固定板的底面固定有无杆气缸，无杆气缸的滑动块固定在伸缩臂的左端底面上；

所述伸缩臂的右侧壁上固定有抓取板，抓取板的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部，晶圆放置在抓取板上并处于两个弧形阻挡部之间，晶圆的左部处于弧形槽中；

所述弧形槽的内侧壁的下部固定有下水平支撑板，抓取板处于下水平支撑板的顶面上方，抓取板的底面靠近下水平支撑板的顶面。

所述下水平支撑板的底面固定有多个推动气缸，推动气缸的推杆插套在下水平支撑板上具有的导向通孔中，推动气缸的推杆的上部插套在抓取板的中部成型有的上通孔中，推动气缸的推杆的顶端对着晶圆。

所述导向通孔的内侧壁上固定有导向套，推动气缸的推杆插套在导向套中，推动气缸的推杆的外侧壁紧贴导向套的内侧壁。

所述推动气缸的推杆的顶端固定有弹性块。

所述机械手固定板的左侧壁上固定有竖直连接板。

所述中心通槽的右端内侧壁成型有内凹槽，内凹槽与弧形槽相通，内凹槽的内侧壁上成型有过渡导向槽，过渡导向槽的左端与中部导向槽相通，伸缩臂的右端的前后两个侧壁成型有延伸部，延伸部插套在内凹槽中，延伸部的外侧壁上成型有过渡凸起部，过渡凸起部插套在过渡导向槽中。

所述弧形阻挡部的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部，晶圆的边部压靠在底部延伸凸起部的顶面上。

本发明的有益效果在于：其通过伸缩臂伸缩可以将抓取板伸入抓取处进行接料，其伸缩臂体积小，方便伸入抓取处抓取，而且其可以自动将晶圆提升，方便后续其他机械手抓取，非常方便。

附图说明

图1为本发明的局部俯视图；

图2为本发明的局部剖视图；

图3为图2的局部放大图；

图4为图1的局部剖视状态的结构示意图。

具体实施方式