[发明专利]一种高精度显微镜X轴平移机构

权利要求书

1.一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：包括底座（21），所述底座（21）设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。

2.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述驱动组件包括伺服马达（2）、滚珠丝杆（8）与螺母座（17），所述滚珠丝杆（8）连接于伺服马达（2），所述螺母座（17）可移动地套于滚珠丝杆（8）上，所述螺母座（17）与滑轨组件固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述滚珠丝杆（8）的第一端设有固定轴承座（5），所述滚珠丝杆（8）的第二端设有活动轴承座（16），所述滚珠丝杆（8）穿过固定轴承座（5）通过联轴器（4）连接于伺服马达（2）。

4.根据权利要求3所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述固定轴承座（5）与活动轴承座（16）上分别设有与螺母座（17）对应设置的防撞胶（7）。

5.根据权利要求2所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述伺服马达（2）通过电机座（3）安装于底座（21）上，所述伺服马达（2）对应设置有光栅尺（9），所述光栅尺（9）与滚珠丝杆（8）对应设置。

6.根据权利要求2所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述滑轨组件包括滑轨（10）、滑轨压块（11）、滑块（22）与滑块连接板（12），所述滑轨（10）通过滑轨压块（11）固定于底座（21）上，所述滑块（22）可滑动地设于滑轨（10）上，所述滑块连接板（12）连接于滑块（22）上，所述螺母座（17）与滑块连接板（12）固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述滑块连接板（12）的两侧分别固定有风琴罩（15）。

8.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述辅助滑动组件包括拖链钣金（6）、坦克链（13）与支撑钣金（14），所述坦克链（13）固定于拖链钣金（6）上，所述支撑钣金（14）可滑动地设于坦克链（13）上，所述支撑钣金（14）与滑块连接板（12）固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述感应组件包括感应器活动铝型材（18）、感应钣金（19）与感应器（20），所述感应器（20）固定于底座（21）上，并与滚珠丝杆（8）的第一端对应设置，所述感应器活动铝型材（18）通过感应钣金（19）固定于滑轨组件的滑块连接板（12）上。

10.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述底座（21）的端部设有X轴盖板（1）。