[发明专利]涂布装置及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于，具有：

喷嘴，设置有喷出涂布液的喷出口，该喷出口以第一方向作为长度方向而开口为狭缝状，

清洁构件，所述第一方向上的长度小于所述喷出口的长度，

位置调节机构，在与所述喷出口的开口面相交的第二方向上使所述喷嘴与所述清洁构件相对移动，来调节所述喷嘴与所述清洁构件在所述第二方向上的相对位置，

扫描移动机构，使所述喷嘴与所述清洁构件在所述第一方向上相对移动，以及

控制部，对由所述位置调节机构调节的所述清洁构件相对于所述喷嘴的相对位置以及由所述扫描移动机构执行的所述相对移动进行控制，来执行清洁所述喷嘴的清洁动作；

所述控制部，

在将所述相对位置设定为所述清洁构件与所述喷出口的周围的所述喷嘴的表面相抵接的抵接位置的状态下，通过利用所述扫描移动机构使所述清洁构件相对于所述喷嘴而在所述第一方向上相对移动，来执行所述清洁动作，

当所述清洁动作的累计执行次数达到了规定的阈值时，接着所述清洁动作执行预备清洁动作，之后向被涂布物涂布所述涂布液，

在所述预备清洁动作中，将所述抵接位置变更设定在使所述喷嘴与所述清洁构件接近的一侧，在将所述相对位置设定为变更后的所述抵接位置的状态下，利用所述扫描移动机构使所述清洁构件相对于所述喷嘴在所述第一方向上相对移动，由此将因所述抵接位置变更设定而产生的细粉从所述喷嘴除去。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述控制部，在执行所述预备清洁动作之后执行的所述清洁动作中，将变更后的所述抵接位置设定为所述相对位置。

3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述第二方向为与所述第一方向以及所述开口面正交的方向。

4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

在与所述第一方向正交的剖面中，所述清洁构件上的与所述喷嘴抵接的抵接部位，具有与所述喷嘴上的被所述清洁构件抵接的被抵接部位的形状相对应的形状。

5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述清洁构件，由弹性树脂制成，在所述抵接位置以正的抵接压力与所述喷嘴抵接。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的涂布装置，其特征在于，

在所述预备清洁动作中，从所述喷出口喷出规定量的所述涂布液后，执行所述相对移动。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的涂布装置，其特征在于，

具有清洗液供给部，其向所述清洁构件与所述喷嘴之间供给清洗液，

在所述预备清洁动作中，从所述清洗液供给部供给所述清洗液后，执行所述相对移动。

8.一种涂布方法，间歇地执行多次从喷嘴喷出涂布液来对被涂布物进行涂布的涂布工序，所述喷嘴设置有喷出口，该喷出口以第一个方向作为长度方向而开口为狭缝状，所述涂布方法的特征在于，具有：

清洁工序，在每次所述涂布工序结束时，一边使清洁构件与所述喷出口的周围的所述喷嘴的表面抵接，一边使所述喷嘴与所述清洁构件在第一方向上相对移动，以及

预备清洁工序，当所述清洁工序的累计执行次数达到规定的阈值时，在执行下一次的所述涂布工序之前执行该预备清洁工序；

在所述预备清洁工序中，将所述清洁工序中的作为所述喷嘴与所述清洁构件的相对位置的抵接位置，变更设定在使所述喷嘴与所述清洁构件接近的一侧，在将所述相对位置设定为变更后的所述抵接位置的状态下，使所述清洁构件相对于所述喷嘴在所述第一方向上相对移动，由此将因所述抵接位置变更设定而产生的细粉从所述喷嘴除去。

9.根据权利要求8所述的涂布方法，其特征在于，

预先对所述累计执行次数设定多个所述阈值，每当所述累计执行次数达到任一所述阈值时，执行所述预备清洁工序。