[发明专利]一种微型器件转移装置、系统及转移方法

权利要求书

1.一种微型器件转移装置，其特征在于，包括投射装置(204)和接收装置(202)；接收装置(202)与投射装置(204)相对旋转或移动；投射装置(204)和接收装置(202)表面各设置有感光材料层，投射装置(204)和接收装置(202)上各设置有发光源(7)；投射装置(204)和接收装置(202)上各设置有布电器(6)。

2.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的发光源(7)设置在投射装置(204)和接收装置(202)的外侧或内侧。

3.根据权利要求2所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的发光源(7)为激光发射器或LPH发光光源。

4.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的投射装置(204)和接收装置(202)为单滚轮结构、皮带式结构或平面结构。

5.根据权利要求4所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，皮带式结构投射装置(204)包括不少于2个的转轮(242)，以及围绕在转轮(242)外围的感光皮带(241)，感光皮带(241)上设置有感光材料层。

6.一种微型器件转移系统，其特征在于，包括若干权利要求1-5所述的微型器件转移装置，转移基板(5)穿过转印滚轮(203)与接收装置(202)之间，转印滚轮(203)将接收装置(202)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。

7.一种微型器件转移方法，步骤如下：

A、采用权利要求1-5任一所述的转移装置投射装置(204)通过旋转或移动，通过布电器(6)布电在投射装置(204)表面产生高电位的静电荷，经发光源(7)照射，在要吸附微型器件(1)的位置，将高电位静电荷转变成低电位静电荷，微型器件(1)放置在导通高电位静电荷的装置中，利用投射装置(204)表面低电位静电荷与微型器件(1)高电位的静电荷，通过静电效应，将微型器件(1)吸附在感光材料层上；

B、投射装置(204)和接收装置(202)上的设置有感光材料层的表面相对运动，控制发光源(7)，相对运动时对应装置的布电器(6)各自在对应结构的表面布电产生高电位的静电荷,投射装置(204)经再由控制发光源(7)，照射在投射装置(204)表面，不需要转移位置表面位置产生低电位的静电荷；需要转移的微型器件(1)的表面位置，发光源(7)不发光照射，保留高电位的静电荷，投射装置(204)和接收装置(202)相互再旋转下一圈或移动下一次时，将再重新被布电器布电在装置表面产生高电位的静电荷，再控制发光源(7)照射在下一個转移位置；

C、接收装置(202)旋转或移动时，接收装置(202)上布电器(6)布电在接收装置(202)表面产生高电位的静电荷，控制发光源(7)，光线照射在接收装置(204)感光材料层表面需要转移的微型器件(1)位置，被发光源(7)发光照射接收装置(202)表面产生低电位的静电荷，相对应投射装置(204)要投射的微型器件(1)则处于高电位的静电荷，接收装置(202)处于低电位的静电荷，两者有电位差，通过静电效应将投射装置(204)上的微型器件(1)吸附转移到接收装置(202)上；

投射装置(204)和接收装置(202)相互再旋转下一圈或移动下一次时，将再重新被各自的布电器(6)重新再布电，两组发光源(7)分别发光照射在投射装置(204)和接收装置(202)对应位置，重复B、C步骤。

8.根据权利要求7所述的一种微型器件转移方法，还包括如下步骤，

D、转移基板(5)穿过转印滚轮(203)与接收装置(202)之间，接收装置(202)与转印滚轮(203)两者有电位差产生静电效应，将接收装置(202)感光材料上的微型器件(1)经静电效应转移到转移基板(5)上；

E、下一个转移基板(5)用位置差或轴向移动改变位置，对应下一次投射的微型器件(1)；

F、再不断重复B、C、D、E步骤直到投射装置(204)上微型器件(1)投射完。