[发明专利]一种金属处理设备及驱动方法

权利要求书

1.一种金属材料处理设备，其特征在于，包括：工作腔、缓冲室、转移装置、第一闸门、第二闸门、加热源、真空泵、控制装置；

所述缓冲室位于工作腔一侧，并与所述工作腔连通；所述第一闸门设置于所述缓冲室与所述工作腔的连通处，所述第二闸门位于所述缓冲室一侧壁上；第一闸门用于隔绝第一闸门两侧的空气；第二闸门用于隔绝第二闸门两侧的空气；所述转移装置位于所述工作腔或所述缓冲室内；所述加热源置于所述工作腔内，用于加热坩埚；所述真空泵与所述缓冲室相导通设置；所述工作腔、缓冲室分别连接一根用于输送保护气体的管道；所述控制装置与所述转移装置、第一闸门、第二闸门、加热源和真空泵电连接。

2.根据权利要求1所述一种金属处理设备，其特征在于，所述加热源为多个。

3.根据权利要求1或2所述一种金属处理设备，其特征在于，所述加热源包括：冷却装置，所述冷却装置绕设于所述加热源上，并与所述控制装置电连接，所述冷却装置用于冷却所述加热源。

4.根据权利要求1所述一种金属处理设备，其特征在于，还包括：分子筛、净化柱、过滤管道和循环泵，所述过滤管道为U型三通管；所述过滤管道主管上设置有所述循环泵，所述循环泵用于抽取所述工作腔内的气体；所述过滤管道一支管设置有所述分子筛，另一支管上设置有净化柱，所述分子筛用于吸收气体中的水分子，所述净化柱用于吸收气体中的氧气；所述过滤管道的三个管口均与所述工作腔导通设置，所述循环泵与所述控制装置电连接。

5.根据权利要求1或4所述一种金属处理设备，其特征在于，还包括：水氧传感器，所述水氧传感器设置于所述工作腔内，并与所述控制装置电连接，用于检测所述工作腔内的水分子浓度和氧气浓度。

6.根据权利要求1所述一种金属处理设备，其特征在于，还包括：压力传感器，所述压力传感器分别置于所述工作腔和所述缓冲室内，用于检测所述工作腔和所述缓冲室内压力值，所述压力传感器与控制装置电连接。

7.根据权利要求1所述一种金属处理设备，其特征在于，所述转移装置为机械手臂，所述机械手臂设置于所述加热源靠近缓冲室的一侧，且设置于所述工作腔内。

8.一种金属处理设备的驱动方法，用于权利要求1到7任意一项的一种金属处理设备的控制装置中，其特征在于，控制装置用于驱动所述金属处理设备执行如下步骤：

驱动第二闸门开启，将坩埚从所述金属处理设备外移动至缓冲室内；

驱动第二闸门关闭，并驱动真空泵抽真空；

驱动真空泵关闭，并通入保护气体；

驱动第一阀门开启，并驱动转移装置将坩埚移动至工作腔内的加热源中；

驱动第一闸门关闭，并开启加热源，待一定时长后关闭加热源；

驱动第一闸门开启，并驱动转移装置将坩埚从加热源上移动至缓冲室内，并关闭第一闸门；

最后驱动第二闸门开启，并将坩埚移动至所述金属处理设备外。

9.根据权利要求8所述一种金属处理设备的驱动方法，其特征在于，在所述驱动第一闸门关闭步骤后，还包括步骤：

驱动置于工作腔内的水氧传感器检测工作腔内的水氧含量是否低于水氧含量预设值；

若水氧含量低于水氧含量预设值，则控制装置驱动加热源启动；

若水氧含量高于水氧含量预设值，则控制装置驱动循环泵启动，待水氧含量预设值后，控制装置驱动加热源启动。

10.根据权利要求8所述一种金属处理设备的驱动方法，其特征在于，

在所述驱动第二闸门关闭，并驱动真空泵抽真空步骤时，还包括步骤：驱动压力传感器检测缓冲室内气压是否低于第一预设压力值；

若低于第一预设压力值，驱动真空泵停止抽真空，并通入保护气体；

若高于第一预设压力值，驱动真空泵继续抽真空，直至缓冲室内气压低于第一预设压力值，而后通入保护气体；

在所述驱动真空泵关闭，并通入保护气体步骤时，还包括步骤：驱动压力传感器检测缓冲室内冲入保护气体后的气压是否达到第二预设压力值；

若达到第二预设压力值，停止输入保护气体，并驱动第一闸门开启；

若未达到第二预设压力值，继续输入保护气体，直至缓冲室内气压达到第二预设压力值，而后停止输入保护气体，并驱动第一闸门开启。