[发明专利]一种具有散热齿片的半导体器件封装结构及封装方法有效

专利信息
申请号: 202010855916.0 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN112366188B 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 唐和明;郑明祥;王琇如 申请(专利权)人: 杰群电子科技(东莞)有限公司
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/373;H01L23/06;H01L21/48
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 林祥
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 散热 半导体器件 封装 结构 方法
【说明书】:

发明公开一种具有散热齿片的半导体器件封装结构及封装方法,该封装结构包括:半导体器件,在其第一端设有正面电极,在其第二端设有背面电极;导电结合层;金属容器,其包括连接板和侧壁板,连接板包括连接本体和由连接本体延伸的若干散热齿片;侧壁板由连接本体延伸并弯折,以与连接本体围成封装空间;半导体器件设于封装空间内,第二端通过导电结合层与连接本体连接;侧壁板包括外引端,背面电极通过导电结合层、连接板与外引端电连接;基板,外引端、正面电极分别通过导电焊材层与基板焊接;该封装方法用于封装得到具有散热齿片的封装结构。本发明的封装结构,散热性能良好,本发明的封装方法能够得到散热良好的封装结构。

技术领域

本发明涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种具有散热齿片的半导体器件封装结构及封装方法。

背景技术

现有的半导体器件封装结构,一般需要将半导体器件通过焊接材料焊于引线框架,再采用金属引线将半导体器件与引线框架进行键合,然后通过环氧树脂等封材料,对半导体器件以及引线框架进行封装形成封装结构,以对半导体器件以及电性连接点进行电气保护和物理保护;但是,由于封装材料的热阻较大,使得由半导体器件产生的热量主要通过引线框架侧向外散热,封装结构主要通过单侧散热,散热性能差。而对于功率器件的封装而言,需要更高的散热性能。

现有的半导体器件封装结构,部分不适于在外部加装散热器,例如现有的SO-8封装结构;而即使部分封装结构外部增加了散热器,由于散热器需要通过焊材(如锡膏)焊接于封装结构的外部,如散热器通过焊材焊接于环氧树脂封装体的外部,如此,增加的焊材层也会增加半导体器件导热通路上的热阻,封装结构的散热性能依然有限。

发明内容

本发明实施例的一个目的在于:提供一种具有散热齿片的半导体器件封装结构,其可实现双面散热,可降低封装结构的热阻,可靠性高。

本发明实施例的另一个目的在于:提供一种半导体器件封装方法,其能够封装得到散热性能良好的封装结构。

为达上述目的,本发明采用以下技术方案:

一种具有散热齿片的半导体器件封装结构,包括:

半导体器件,在其第一端设有正面电极,在其第二端设有背面电极,所述第二端与所述第一端相对;

导电结合层;

金属容器,其包括连接板和侧壁板,所述连接板包括连接本体和由所述连接本体延伸的若干散热齿片;所述侧壁板由所述连接本体延伸,并往远离所述散热齿片的方向弯折,以与所述连接本体围成封装空间;所述半导体器件设于所述封装空间内,所述第二端通过所述导电结合层与所述连接本体连接;所述侧壁板包括外引端,所述背面电极通过所述导电结合层、所述连接板与外引端电连接;

基板,所述外引端、所述正面电极分别通过导电焊材层与所述基板焊接;所述金属容器与所述基板连接,以密封所述封装空间。

作为优选,所述导电结合层为石墨烯结合膜,所述石墨烯结合膜的一面与所述半导体器件的第二端键合或粘合,所述石墨烯结合膜的另一面与所述连接本体键合或粘合。

作为优选,在所述金属容器的内部离散地掺杂有若干散热体,所述散热体为石墨烯颗粒或石墨颗粒。

作为优选,所述金属容器为铜容器。

作为优选,所述半导体器件为MOSFET器件;所述第二端至少设有两个正面电极,在所述第二端设有源极和栅极;所述背面电极为漏极。

作为优选,还包括导热片,所述导热片竖向地设置于所述连接板的内;所述导热片为石墨导热片或石墨烯导热片。

作为优选,所述散热齿片形成于所述连接本体远离所述半导体器件的一端,若干所述散热齿片间隔设置;所述导热片的一部分位于所述连接本体内,另一部分位于所述散热齿片内。

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