[发明专利]一种基于图像检测的晶圆计数方法及系统

权利要求书

1.一种基于图像检测的晶圆计数方法，其特征在于，包括如下步骤：

利用图像检测设备获取晶圆阵列的原始检测图像，对原始检测图像进行旋转矫正，对旋转校正后的检测图像进行ROI区域提取以获取第一ROI区域图像；

利用所述第一ROI区域图像获取所述晶圆阵列的PN结区域，利用PN结区域实现垂直线族、水平线族的提取，所述水平线族和垂直线族分别为水平方向和垂直方向的晶粒间隙区域，利用所述垂直线族和水平线族进行图像分割以获得单颗晶粒区域，计算单颗晶粒区域的特征值以实现良品晶粒的筛选；

所述PN结区域的获取过程具体为：

利用第三预设大小的掩模对ROI区域图像进行均值滤波，然后取ROI区域图像中相对于均值滤波后图像的暗区域作为PN结区域；

所述水平线族和垂直线族的获取过程具体为：利用第四预设大小的掩模对ROI区域图像进行腐蚀后，再利用第五预设大小的掩模进行膨胀操作，最后取膨胀操作后的图片骨骼，以获得水平线族和垂直线族。

2.如权利要求1所述的一种基于图像检测的晶圆计数方法，其中，ROI区域图像提取过程为：

利用晶粒区域图像的灰度值低于背景图像的灰度值的特征，采用全局阈值分割方法提取图像中的暗区域，通过面积特征筛选获得面积最大的区域即为第一ROI区域图像。

3.如权利要求1或2所述的一种基于图像检测的晶圆计数方法，其中，

所述利用所述第一ROI区域图像获取所述晶圆阵列的PN结区域、水平线族以及垂直线族包括：

利用形态学算法筛选出所述第一ROI区域中的空白区域图像，从所述第一ROI区域图像中剔除所述空白区域图像获得第二ROI区域图像；

提取所述第二ROI区域图像中的PN结区域、水平线族以及垂直线族。

4.如权利要求3所述的一种基于图像检测的晶圆计数方法，其中，所述利用形态学算法筛选出所述第一ROI区域中的空白区域图像包括：

利用预设的全局阈值提取所述第一ROI区域图像的亮区域，分别利用第一预设大小的掩模和第二预设大小的掩模进行腐蚀操作和开运算的形态学运算，并进行区域面积筛选得到空白区域。

5.如权利要求3所述的一种基于图像检测的晶圆计数方法，其中，单颗晶粒区域的获取过程为：

提取第二ROI区域图像中的PN结区域、水平线族以及垂直线族，利用垂直线族区域和水平线族区域分割第二ROI区域图像以获得单颗晶粒区域。

6.如权利要求1所述的一种基于图像检测的晶圆计数方法，其中，对原始检测图像进行旋转矫正包括：

通过获取原始检测图像中多个标记区域中心点坐标，利用多个标记区域中心点坐标对原始检测图像进行旋转校正。

7.一种基于图像检测的晶圆计数系统，其特征在于，所述系统包括图像检测设备、ROI区域图像获取模块、单颗晶粒获取模块和晶粒筛选模块，其中，

所述图像检测设备用于获取晶圆阵列的原始检测图像；

所述ROI区域图像获取模块用于对原始检测图像进行旋转矫正，对旋转校正后的检测图像进行ROI区域提取以获取第一ROI区域图像；

所述单颗晶粒获取模块用于利用所述第一ROI区域图像获取所述晶圆阵列的PN结区域，利用PN结区域实现垂直线族、水平线族的提取，所述水平线族和垂直线族分别为水平方向和垂直方向的晶粒间隙区域，利用所述垂直线族和水平线族进行图像分割以获得单颗晶粒区域；

所述晶粒筛选模块用于计算单颗晶粒区域的特征值以实现良品晶粒的筛选；

所述PN结区域的获取过程具体为：

利用第三预设大小的掩模对ROI区域图像进行均值滤波，然后取ROI区域图像中相对于均值滤波后图像的暗区域作为PN结区域；

所述水平线族和垂直线族的获取过程具体为：利用第四预设大小的掩模对ROI区域图像进行腐蚀后，再利用第五预设大小的掩模进行膨胀操作，最后取膨胀操作后的图片骨骼，以获得水平线族和垂直线族。

8.一种计算机可读介质，其特征在于，其存储有可由电子设备执行的计算机程序，当所述计算机程序在电子设备上运行时，使得所述电子设备执行权利要求1～6任一项所述方法的步骤。