[发明专利]一种氧化锌微米线紫外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌微米线紫外探测器，其特征在于，包括：

衬底；

复合于所述衬底表面的氧化锌微米线；

固定于所述氧化锌微米线的两端的电极；

复合于所述氧化锌微米线上非电极区域的修饰层；

所述修饰层为氟硅基修饰层；所述氟硅基修饰层包括：SiF₄和F。

2.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述氧化锌微米线的直径为10～500μm。

3.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述电极为导电银胶或铟粒。

4.一种权利要求1～3中任一项所述的紫外探测器的制备方法，其特征在于，包括：

a)在衬底表面设置氧化锌微米线，得到复合体A；

b)在所述氧化锌微米线的两端分别固定电极，得到复合体B；

c)在所述复合体B中氧化锌微米线的表面生长SiO₂修饰层，得到复合体C；

d)对所述复合体C上氧化锌微米线表面的SiO₂修饰层进行氟修饰处理，形成氟硅基修饰层，得到紫外探测器。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤c)包括：将复合体B放置于磁控溅射设备中，利用磁控溅射法在氧化锌微米线表面生长SiO₂修饰层。

6.根据权利要求4或5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤d)包括：

将所述复合体C悬空放置于氟溶液的上方，其中，设置了氧化锌微米线的一面面向氟溶液；对所述氟溶液升温，在氧化锌微米线上形成氟硅基修饰层。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述氟溶液为HF溶液、KF溶液、NaF溶液、三氟乙酸溶液、三氟甲磺酸溶液和三氟丙酸溶液中的一种或几种。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述氟溶液中氟的浓度为1×10^-6mol/L～10mol/L；

所述悬空的高度为0.1～50cm；

所述升温的温度为25～100℃，升温后的保温处理时间为0.01s～24h。

9.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤b)中，所述电极为导电银胶或铟粒；

所述导电银胶的固定方式为：向所述氧化锌微米线的两端分别滴加导电银胶并干燥；

所述铟粒的固定方式为：将铟粒分别按压在所述氧化锌微米线的两端。

10.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤d)中，在进行氟修饰处理后，还包括：清洗和干燥。