[发明专利]清洗装置有效
申请号: | 202010856931.7 | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN112024500B | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
发明(设计)人: | 李相鑫;吴仪 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;F26B21/14 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洗 装置 | ||
1.一种清洗装置,用于对待清洗件进行清洗,其特征在于,包括基座和边缘清洗机构,其中,所述基座可旋转并用于承载待清洗件,且所述基座的外径小于所述待清洗件的直径,以使所述待清洗件的边缘部分能够自所述基座的外周面伸出;
所述边缘清洗机构设置在所述基座的一侧,且包括清洗结构和边缘喷嘴结构,其中,
所述清洗结构包括第一防溅壁、位于所述第一防溅壁下方的第二防溅壁及清洗腔,所述第一防溅壁包括用于与所述待清洗件的所述边缘部分的上表面相接触的第一接触面;所述第二防溅壁包括用于与所述待清洗件的边缘部分的下表面相接触的第二接触面;在所述第一接触面和第二接触面分别与所述待清洗件的所述边缘部分的上表面和下表面相接触时,所述第一防溅壁和第二防溅壁对接形成封闭的所述清洗腔;所述待清洗件的所述边缘部分容置于所述清洗腔中;在所述第一接触面和第二接触面上均设置有能够浸透液体的柔性衬垫,用以分别接触所述待清洗件的边缘部分的上表面和下表面;
所述边缘喷嘴结构包括喷嘴,所述喷嘴容置于所述清洗腔中,用以朝向所述待清洗件的所述边缘部分喷淋清洗液。
2.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述喷嘴为雾化喷嘴,所述雾化喷嘴包括喷嘴本体和设置在所述喷嘴本体中的多个雾化喷孔,各个所述雾化喷孔的输入端均与用于供应所述清洗液的液体管路和用于供应增压气体的气体管路连接,各个所述雾化喷孔的输出端用于将包含微液滴的气体喷出,所述微液滴由流入所述雾化喷孔中的所述清洗液和所述增压气体相互作用而成。
3.根据权利要求2所述的清洗装置,其特征在于,所述喷嘴本体包括出口端面,多个所述雾化喷孔的输出端均匀分布在所述出口端面上。
4.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述边缘喷嘴结构还包括角度调节机构,所述角度调节机构与所述喷嘴连接,用以调节所述喷嘴的喷液角度。
5.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述第一防溅壁的内表面为朝远离所述待清洗件的上表面的方向凹进的圆弧凹面,且在所述第一防溅壁的内表面上形成有防水层,所述防水层用于防止溅射至所述第一防溅壁的内表面上的清洗液附着在所述第一防溅壁的内表面上。
6.根据权利要求5所述的清洗装置,其特征在于,在所述第二防溅壁的内表面上形成有用于回收所述清洗液的回收槽,且在所述第二防溅壁中设置有排液通道,用以排出所述清洗液。
7.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述边缘清洗机构还包括竖直设置的第一喷嘴摆臂和第一旋转驱动机构,其中,所述第一喷嘴摆臂分别与所述清洗结构和所述第一旋转驱动机构连接;
所述第一旋转驱动机构用于驱动所述第一喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动,以带动所述清洗结构摆动至使所述清洗腔能够容置所述待清洗件的边缘部分的位置处,或者带动所述清洗结构摆动至与所述待清洗件完全分离的位置处。
8.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述清洗装置还包括上喷嘴结构、气体喷嘴结构、竖直设置在所述基座的一侧的第二喷嘴摆臂、第三喷嘴摆臂、第二旋转驱动机构和第三旋转驱动机构,其中,
所述上喷嘴结构用于朝向所述待清洗件的上表面喷淋纯水;
所述气体喷嘴结构用于朝向所述待清洗件的上表面喷淋干燥气体;
所述第二喷嘴摆臂分别与所述上喷嘴结构和所述第二旋转驱动机构连接;
所述第三喷嘴摆臂分别与所述气体喷嘴结构和所述第三旋转驱动机构连接;
所述第二旋转驱动机构用于驱动所述第二喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动,以带动所述上喷嘴结构摆动至所述待清洗件的上方,或者带动所述上喷嘴结构摆动至所述待清洗件的外侧;
所述第三旋转驱动机构用于驱动所述第三喷嘴摆臂围绕自身轴线摆动,以带动所述气体喷嘴结构摆动至所述待清洗件的上方,或者
带动所述气体喷嘴结构摆动至所述待清洗件的外侧。
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