[发明专利]一种集成采集刺激功能的皮层脑电极及其制作方法

权利要求书

1.一种集成采集刺激功能的皮层脑电极，其特征在于，包括：光刺激电极结构(1)、热刺激电极结构(2)和采集电极结构(3)；

所述光刺激电极结构(1)上设有柔性粘接层(4)；

所述柔性粘接层(4)上设有所述热刺激电极结构(2)；

所述热刺激电极结构(2)上设有所述采集电极结构(3)。

2.根据权利要求1所述的皮层脑电极，其特征在于，所述光刺激电极结构(1)包括第一支撑层(101)、第一导电结构(102)、第一绝缘层(103)和微米级LED灯(105)；

所述第一支撑层(101)上设有所述第一导电结构(102)；

所述第一导电结构(102)上设有第一绝缘层(103)，所述第一绝缘层(103)设有第一电极孔(1031)，所述第一电极孔(1031)与所述第一导电结构(102)的电极对应；

所述第一导电结构(102)的电极上设有所述微米级LED灯(105)。

3.根据权利要求2所述的皮层脑电极，其特征在于，所述微米级LED灯(105)与所述第一导电结构(102)的电极通过导电银胶(104)连接。

4.根据权利要求1所述的皮层脑电极，其特征在于，热刺激电极结构(2)包括第二支撑层(201)、电阻结构(202)和第二绝缘层(203)；

所述第二支撑层(201)与所述柔性粘接层(4)连接；

所述第二支撑层(201)上设有所述电阻结构(202)；

所述电阻结构(202)上设有所述第二绝缘层(203)。

5.根据权利要求4所述的皮层脑电极，其特征在于，所述采集电极结构(3)包括第二导电结构(301)和第三绝缘层(302)；

所述第二导电结构(301)设于所述第二绝缘层(203)上；

所述第二导电结构(301)上设有所述第三绝缘层(302),所述第三绝缘层(302)包括第二电极孔(3021)，所述第二电极孔(3021)与所述第二导电结构(301)的电极对应。

6.根据权利要求1所述的皮层脑电极，其特征在于，所述柔性粘接层(4)的材料包括硅酮弹性体。

7.根据权利要求1所述的皮层脑电极，其特征在于，还包括金属屏蔽结构(5)；

所述金属屏蔽结构(5)位于所述热刺激电极结构(2)和采集电极结构(3)之间。

8.一种集成采集刺激功能的皮层脑电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一表面具有二氧化硅的第一硅衬底(6)；

在所述第一硅衬底上形成热刺激电极结构(2)；

在所述热刺激电极结构(2)上形成采集电极结构(3)，得到待释放热刺激-采集电极结构；

释放所述待释放热刺激-采集电极结构得到热刺激-采集电极结构；

制备光刺激电极结构(1)；

在所述光刺激电极结构(1)上形成柔性粘接层(4)；

将所述热刺激-采集电极结构转移到所述柔性粘接层(4)上，所述热刺激电极结构(2)与所述柔性粘接层(4)连接。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述制备光刺激电极结构(1)，包括：

提供一表面具有二氧化硅的第二硅衬底(10)；

在所述第二硅衬底上形成第一支撑层(101)；

在所述第一支撑层(101)上形成第一导电结构(102)；

在所述第一导电结构(102)上形成第一绝缘层(103)；

图形化所述第一绝缘层(103)，在所述第一绝缘层(103)上形成第一电极孔(1031)，所述第一电极孔(1031)与所述光刺激电极结构(1)的电极对应，得到待释放光刺激结构(9)；

去除所述待释放光刺激结构(9)的所述硅衬底；

在所述光刺激电极结构(1)的电极上安装微米级LED灯(105)，得到光刺激电极结构(1)。

10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述第一支撑层(101)的材料为非降解型柔性薄膜材料。