[发明专利]一种可调谐太赫兹带通滤波器

权利要求书

1.一种可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述可调谐太赫兹带通滤波器包括N×N个相同的单元，周期排列在与太赫兹波入射方向垂直的平面上，相邻单元间无间距，N为等于或大于1的正整数；

所述单元为5层结构包括：第一介质层，第一谐振层，形变介质层，第二谐振层，第二介质层；所述5层结构的堆叠顺序为：沿着波入射方向，依次为第一介质层，第一谐振层，形变介质层，第二谐振层，第二介质层；

所述第一介质层和第二介质层结构尺寸及材料都相同；所述第一谐振层和第二谐振层结构尺寸及材料都相同；

所述第一介质层和第二介质层材料为环烯烃聚合物；所述第一谐振层和第二谐振层材料为金属；所述形变介质层材料为聚甲基丙烯酰亚胺泡沫(PMI)；

所述第一谐振层和第二谐振层包括：正方形金属环、正方形金属片、第一金属条、第二金属条、第三金属条和第四金属条；所述正方形金属片设置在正方形金属环的中间位置，所述第一金属条、第二金属条、第三金属条、第四金属条等大且每条金属条的一端分别与正方形金属片的四个角相连，另一端分别与正方形金属环的四个角相连；

所述可调谐太赫兹带通滤波器在工作时固定，所述第一介质层承受均匀的、垂直于第一介质层的外加分布载荷，其余4层均不直接承受外加分布载荷。

2.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述单元中第一谐振层、第二谐振层的厚度的范围为0.4μm-1μm。

3.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述单元中第一介质层、第二介质层的厚度的范围为32μm-38μm。

4.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述单元中形变介质层的厚度为200μm。

5.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述第一谐振层和第二谐振层中正方形金属环的外边长为200μm，内边长为176μm-184μm。

6.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述谐振层中正方形金属环的环宽度和金属条的宽度相等，宽度范围为8μm-12μm。

7.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，所述谐振层中正方形金属片的边长范围为150μm-160μm。

8.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，第一谐振层和第二谐振层的材料为金、银、铜、铝中的一种。

9.根据权利要求1所述的可调谐太赫兹带通滤波器，其特征在于，第一介质层所承受的外加分布载荷的范围为0～30N/mm²。