[发明专利]一种发光结构的转移方法有效
申请号: | 202010860341.1 | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN112968108B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 熊浪;翟峰 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/683;C09J133/02;C09J133/04 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 白雪 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发光 结构 转移 方法 | ||
1.一种发光结构的转移方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一表面生长有多个发光结构的生长基板;
通过光致形状记忆胶层将临时基板与所述多个发光结构进行粘结;
激光剥离所述生长基板,以将所述生长基板与所述多个发光结构分离,得到粘附有所述多个发光结构的所述临时基板;
利用第一波段的光束对粘附有所述多个发光结构的所述临时基板进行照射,以使所述光致形状记忆胶层发生至少部分形变,且所述第一波段大于所述光致形状记忆胶层形变的阈值波长;
将所述多个发光结构进行转移;
其中,利用所述第一波段的光束对粘附有所述多个发光结构的所述临时基板进行照射的步骤包括:
将所述第一波段的光束通过一掩膜版从所述临时基板背离所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板,以使所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变;或者,
将所述第一波段的光束从所述临时基板粘附所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板,以使所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变;
其中所述第一波段的光束的照射方向垂直于所述临时基板;且当所述第一波段的光束通过所述掩膜版从所述临时基板背离所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板时,所述掩膜版的覆盖区域对应所述多个发光结构。
2.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述阈值波长为260nm。
3.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述光致形状记忆胶层的材料包括第一组分 和第二组分,所述第一组分包括肉桂酸和/或含肉桂酸基团的聚合物,所述第二组分包括丙烯酸酯类聚合物。
4.如权利要求3所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述第一组分 和所述第二组分的重量比在1:1至1:5之间。
5.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述至少部分形变包括:所述光致形状记忆胶层中相邻所述发光结构之间的部分收缩形变,所述光致形状记忆胶层中对应所述发光结构的部分膨胀形变。
6.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,
在所述得到粘附有所述多个发光结构的所述临时基板之后,在所述将所述第一波段的光束通过一掩膜版从所述临时基板背离所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板之前,所述方法还包括:将转移设备贴合至所述多个发光结构上;
在所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变之后,所述方法还包括:利用所述转移设备转移所述多个发光结构。
7.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,
在将所述第一波段的光束从所述临时基板粘附所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板,以使所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变的步骤之后,所述方法还包括:将转移设备贴合至所述多个发光结构上;利用所述转移设备转移所述多个发光结构。
8.如权利要求1至4中任一项所述的发光结构的转移方法,其特征在于,将所述多个发光结构进行转移的步骤之后,所述转移方法还包括:利用第二波段的光束照射所述光致形状记忆胶层,以使所述至少部分形变恢复,所述第二波段小于所述阈值波长。
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