[发明专利]一种发光结构的转移方法有效

专利信息
申请号: 202010860341.1 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN112968108B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 熊浪;翟峰 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L21/683;C09J133/02;C09J133/04
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 白雪
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 发光 结构 转移 方法
【权利要求书】:

1.一种发光结构的转移方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一表面生长有多个发光结构的生长基板;

通过光致形状记忆胶层将临时基板与所述多个发光结构进行粘结;

激光剥离所述生长基板,以将所述生长基板与所述多个发光结构分离,得到粘附有所述多个发光结构的所述临时基板;

利用第一波段的光束对粘附有所述多个发光结构的所述临时基板进行照射,以使所述光致形状记忆胶层发生至少部分形变,且所述第一波段大于所述光致形状记忆胶层形变的阈值波长;

将所述多个发光结构进行转移;

其中,利用所述第一波段的光束对粘附有所述多个发光结构的所述临时基板进行照射的步骤包括:

将所述第一波段的光束通过一掩膜版从所述临时基板背离所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板,以使所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变;或者,

将所述第一波段的光束从所述临时基板粘附所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板,以使所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变;

其中所述第一波段的光束的照射方向垂直于所述临时基板;且当所述第一波段的光束通过所述掩膜版从所述临时基板背离所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板时,所述掩膜版的覆盖区域对应所述多个发光结构。

2.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述阈值波长为260nm。

3.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述光致形状记忆胶层的材料包括第一组分 和第二组分,所述第一组分包括肉桂酸和/或含肉桂酸基团的聚合物,所述第二组分包括丙烯酸酯类聚合物。

4.如权利要求3所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述第一组分 和所述第二组分的重量比在1:1至1:5之间。

5.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,所述至少部分形变包括:所述光致形状记忆胶层中相邻所述发光结构之间的部分收缩形变,所述光致形状记忆胶层中对应所述发光结构的部分膨胀形变。

6.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,

在所述得到粘附有所述多个发光结构的所述临时基板之后,在所述将所述第一波段的光束通过一掩膜版从所述临时基板背离所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板之前,所述方法还包括:将转移设备贴合至所述多个发光结构上;

在所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变之后,所述方法还包括:利用所述转移设备转移所述多个发光结构。

7.如权利要求1所述的发光结构的转移方法,其特征在于,

在将所述第一波段的光束从所述临时基板粘附所述多个发光结构的一侧照射所述临时基板,以使所述光致形状记忆胶层发生所述至少部分形变的步骤之后,所述方法还包括:将转移设备贴合至所述多个发光结构上;利用所述转移设备转移所述多个发光结构。

8.如权利要求1至4中任一项所述的发光结构的转移方法,其特征在于,将所述多个发光结构进行转移的步骤之后,所述转移方法还包括:利用第二波段的光束照射所述光致形状记忆胶层,以使所述至少部分形变恢复,所述第二波段小于所述阈值波长。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司,未经重庆康佳光电技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010860341.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top