[发明专利]一种晶圆叉清洗方法及装置

权利要求书

1.一种晶圆叉清洗装置，其特征在于，包括：

清洗室、设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于所述清洗室出入口上下端的气刀；

所述清洗室入口同出口；

所述喷洒装置，用于喷淋清洗液；

所述刷子，用于对待清洗的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；

所述气刀，用于对所述待清洗的晶圆叉进行吹扫，以及对清洗后的晶圆叉进行干燥；

控制将晶圆叉插入清洗室，并控制出入口上下端的气刀对待清洗的晶圆叉进行吹扫；

控制关闭所述气刀；

控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对所述待清洗的晶圆叉进行洗刷，以实现边喷淋清洗液边洗刷；

控制将所述晶圆叉移出所述清洗室，并控制气刀对清洗后的晶圆叉进行干燥；

控制关闭所述气刀。

2.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，所述喷洒装置集成于所述刷子上时，还包括：

第一轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；

第一驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第一轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。

3.如权利要求2所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，所述刷子包括：刷头和第一支撑杆；

所述第一支撑杆一端设置所述刷头，另一端设置于所述第一轨道上；

所述刷头上设置有刷毛，且在刷毛的间隙设置有喷淋清洗液的喷淋孔。

4.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，在所述喷洒装置与所述刷子并排设置时，还包括：

第二支撑杆；

第二轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述第二支撑杆；

所述第二支撑杆的一端设置于所述第二轨道，另一端连接横板，所述横板一端设置所述刷子，另一端设置所述喷洒装置；

第二驱动装置，连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆沿着所述第二轨道移动，以使所述喷洒装置和所述刷子均沿着所述第二轨道移动，以实现边喷淋清洗液边洗刷。

5.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，在所述清洗室的上部、下部以及侧边均固定设置有所述喷洒装置；

还包括：

第三轨道，设置在所述清洗室顶端，用于承载所述刷子；

第三驱动装置，连接所述刷子，用于驱动所述刷子沿着所述第三轨道移动，以在所述喷洒装置喷淋清洗液的区域进行洗刷。

6.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，还包括：

第四驱动装置，所述第四驱动装置连接所述刷子，用于驱动所述刷子旋转，以实现旋转洗刷。

7.如权利要求4所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，还包括：

第五驱动装置，所述第五驱动装置连接所述第二支撑杆，用于驱动所述第二支撑杆旋转，以使所述横板上的刷子和喷洒装置在旋转过程中实现边喷洒清洗液边洗刷。

8.如权利要求1所述的晶圆叉清洗装置，其特征在于，控制开启喷洒装置进行喷淋清洗液，并控制刷子对待清洗的晶圆叉进行洗刷，包括：

控制开启喷洒装置；

控制所述喷洒装置移动或者调整所述喷洒装置的喷洒朝向，使得所述喷洒装置喷淋的清洗液将所述待清洗的晶圆叉全部覆盖；

控制刷子在喷淋清洗液的区域对所述待清洗的晶圆叉进行旋转洗刷。