[发明专利]一种等离子体放电异常的处理方法

权利要求书

1.一种等离子体放电异常的处理方法，其特征在于，步骤包括：

步骤S1：淀积工艺开始时，检测等离子体放电过程中输出电流Io是否超过最大电流设定值Imax，当Io＞Imax时，判断放电过程中有Imax电弧发生；若IoImax，则继续比较Io是否超过电流设定值Ix，其中Ix＜Imax；

步骤S2：当输出电流Io＞Ix时，同时需比较输出电压Uo是否超过电压设定值Ux；当Io＞Ix且Uo＜Ux时，判断放电过程中有U×I电弧发生；

步骤S3：比较输出电压波动ΔU和设定值dU，当ΔU大于dU时,判断放电过程中有dU电弧发生；

还包括判断放电过程中是否发生严重短路的步骤，即：当放电过程中有Imax电弧、U×I电弧发生时，自动统计其次数；当一定时间内电弧计数超过设定值Ax，即电弧增长率AAx，进行报警处理，工艺停止；若AAx，程序自动延长淀积工艺时间；

所述延长淀积工艺时间通过下式获取：

修正系数ξ*(Imax电弧计数*T1+U×I电弧计数*T2+dU电弧计数*T3)*(Ton+Toff)/Ton

上式中修正系数ξ取值0.8-1.2，Ton表示电源脉冲开启时间，Toff表示电源脉冲关闭时间；T1为Imax电弧时间，T2为U×I电弧时间、T3为dU电弧时间。

2.根据权利要求1所述的等离子体放电异常的处理方法，其特征在于，所述Imax设定值范围35-80A。

3.根据权利要求1所述的等离子体放电异常的处理方法，其特征在于，所述Ix设定值范围30-65A。

4.根据权利要求1所述的等离子体放电异常的处理方法，其特征在于，所述Ux设定值范围80-200V。

5.根据权利要求1所述的等离子体放电异常的处理方法，其特征在于，所述dU设定值范围15％U-45％U。

6.根据权利要求1所述的等离子体放电异常的处理方法，其特征在于，抑制处理Imax电弧时间T1、U×I电弧时间T2、dU电弧时间T3均为30-200us。