[发明专利]一种检测装置及检测设备有效
申请号: | 202010861773.4 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN112697039A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 陈鲁;方一;李青格乐 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/24 |
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地址: | 518109 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 设备 | ||
本申请提供一种检测装置,包括光源装置,其用于向待测区及其外围区域发射检测光束,检测光束沿垂直于待测物的方向入射至待测区及其外围区域,检测光束穿过外围区域形成复检光束;反射元件,其具有反射面,反射面平行于待测物,反射面用于使至少部分复检光束反射至外围区域,复检光束穿过外围区域形成第一信号光;以及探测装置,其用于接收信号光,信号光包括沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光;通过以上设置,可以使得光源装置出射的检测光束可以经待测物反射、折射或散射后形成信号光,被探测装置所收集,形成清晰的轮廓图,从而提高检测精度。
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域,特别涉及一种检测装置及检测设备。
背景技术
随着电子信息技术的迅猛发展,手机更新换代的速度越来越快,包括软件和硬件的变更。如曲面手机屏成为发展趋势,其中,超曲面环幕屏越来越受到手机厂商的关注。
针对手机屏的发展趋势,现有的光学检测技术已经无法满足需求,在对曲面屏,尤其是超曲面环幕屏的边缘进行检测时,目前的光学检测仪器无法对曲面屏的边缘清晰成像,使得光学检测结果的精度降低。
如何对手机曲面屏进行精确检测是目前亟待解决的问题。
发明内容
针对现有光学检测技术中无法对曲面屏边缘清晰成像的缺点,本发明提供一种检测装置,包括:光源装置,所述光源装置用于向待测区及其外围区域发射检测光束,所述检测光束沿垂直于待测物的方向入射至所述待测区及其外围区域,所述检测光束穿过所述外围区域形成复检光束,所述待测区用于改变所述检测光束的传播方向;反射元件,所述反射元件具有反射面,所述检测光束中心轴垂直于所述反射元件,所述反射面用于使至少部分所述复检光束反射至所述外围区域,所述复检光束穿过所述外围区域形成第一信号光;以及探测装置,所述探测装置用于接收信号光,所述信号光包括沿垂直于所述反射面的方向自所述外围区域出射的第一信号光,形成检测信息。
通过以上设置,光源装置出射的检测光束入射至待测区及其外围区域,部分检测光经待测物表面反射可形成部分信号光,而部分检测光穿过所述外围区域形成的复检光束穿过外围区域照射至反射面形成复检光束,部分复检光束经外围区域形成第一信号光,探测装置接收信号光,尤其是接收沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光,从而能够提高图像的对比度,提高检测的准确性。
在一种实施方式中,所述光源装置包括光源和分光镜,所述分光镜设置在所述光源和所述待测物之间的光路上,用于使所述光源出射的所述检测光束照射至所述检测物边缘;通过以上设置,该检测装置具有体积小的优点。
在一种实施方式中,所述光源为LED光源阵列,所述分光镜为半透半反镜。
在一种实施方式中,所述分光镜用于反射所述光源出射的所述检测光束,并透过所述信号光;或者,所述分光镜用于透过所述光源出射的所述检测光束,并反射所述信号光。
在一种实施方式中,所述检测装置还包括承载面,用于放置所述待测物;所述光源装置与所述反射元件分别位于所述承载面的两侧,所述光源装置与所述探测装置位于所述承载面的同一侧;所述探测装置光轴垂直于所述反射面,或者所述光源的发光面平行于所述反光面。
在一种实施方式中,所述探测装置光轴垂直于所述反射面,所述光源装置位于所述探测装置与所述反射元件之间,所述光源装置具有靠近所述承载面的端面,所述端面与所述承载面的距离为150~170mm,所述承载面与所述反射面的距离为18~22mm。
在一种实施方式中,垂直于所述反射面的检测光束具有位于中心的中心光束;所述中心光束与所述探测装置的光轴经过同一直线。
在一种实施方式中,所述待测区包括所述待测物边缘的边缘线或孔的边缘线;所述外围区域包括位于所述边缘线一侧的待测物区域,或/和位于所述边缘线另一侧的空间区域。
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