[发明专利]一种电子级氟化氨的制备系统及工艺

说明书

本发明公开了一种电子级氟化氨的制备系统即工艺，制备系统主要包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，混合槽一侧连接有氢氟酸中间槽，蒸发器一侧连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合器连接。本发明提供的制备系统结构组成简单，将复杂的工序有序且简洁地进行了实体化，实现了化繁为简，实现了电子级氟化铵生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；且本发明提供的制备工艺在采用上述主要结构主体的基础支撑上进行操作，使整个过程有序化、明了化，并且能够批量制得电子级氟化铵成品，可以达到成本相对经济且生产效率较高的优势。

技术领域

本发明涉及材料化学技术领域，具体而言，涉及一种电子级氟化氨的制备系统及工艺。

背景技术

氟化铵因其具有良好的蚀刻能力而在电子产品生产领域中具备广泛应用，而随着电子行业的快速发展，电子级氟化铵的需求越来越大，对氟化铵的纯度要求也越来越高，目前，市面上还有没有一种能够相对经济并直接生产电子级氟化铵水溶液的成熟系统和成熟工艺。

有鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种电子级氟化氨的制备系统，该制备系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氟化铵生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；

本发明的第二个目的在于提供一种电子级氟化氨的制备工艺，该制备工艺实施简单、易于操作，在基于制备系统的基础上能够实现电子级氟化铵系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。

本发明的实施例是这样实现的：

一种电子级氟化氨的制备系统，包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，混合槽一侧连接有氢氟酸中间槽，蒸发器一侧连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合器连接。

进一步地，混合器卧放布置，循环管组包括汇流管、多根内循环管和多根外循环管，汇流管与混合器上部之间连接有多根连通管，多根内循环管均连通在混合槽与汇流管之间，每根内循环管上均设置有循环泵，每根外循环管一端与混合槽连通，另一端与混合器的底部连接，外循环管上绕置有冷凝管，过滤管一端与混合器一端端部连接。

进一步地，混合器远离其与过滤管连接的端部设置有搅拌机构，搅拌机构包括动力电机、传动箱和搅拌轴，动力电机与传动箱的输入端连接，传动箱具有同步动作且转向相反的第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴和第二输出轴均可转动地穿入至混合器内，第一输出轴上套装有第一拨轮，第二输出轴上套装有第二拨轮，第一拨轮和第二拨轮的外沿上均加工有弧形缺口，混合器的内壁上固定有套装在第一拨轮和第二拨轮上的环形轨道，第一拨轮的弧形缺口与环形轨道的内孔壁之间形成用于供搅拌轴端部嵌入的第一轨道，以使搅拌轴能够沿第一拨轮的外沿移动，第二拨轮的弧形缺口与环形轨道的内孔壁之间也形成用于供搅拌轴端部嵌入的第二轨道，以使搅拌轴能够沿第二拨轮的外沿移动，第一轨道一侧与第二轨道一侧之间相切，且第一轨道和第二轨道相切部分相互连通，混合器远离搅拌机构一端的内壁上加工有供搅拌轴端部嵌入的定位轨道，定位轨道的形状与第一轨道和第二轨道组合的形状相同。

进一步地，混合器远离搅拌机构一端的内壁上设置有使搅拌轴能够在第一轨道和第二轨道之间来回切换移动的限位组件，限位组件包括T型杆、限位销和定位销，定位销固定于定位轨道中间连通部分正下方的混合器内壁上，T型杆的竖梁与定位销铰接，限位销固定于定位销正下方的混合器内壁上，T型杆的横梁位于定位销与限位销之间，限位销用于限制T型杆横梁的转动角度，且限位销与T型杆的竖梁端部之间固定有弹簧。