[发明专利]高温高压冷热台在审
申请号: | 202010867657.3 | 申请日: | 2020-08-26 |
公开(公告)号: | CN111855885A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 王丽丽;韩修刚;刘金伟 | 申请(专利权)人: | 重庆渝微电子技术研究院有限公司 |
主分类号: | G01N31/10 | 分类号: | G01N31/10;G01N21/01;G01N21/65 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400030 重庆市沙坪坝区*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高温 高压 冷热 | ||
1.一种高温高压冷热台,其特征在于,主要由台体、台盖、盖窗、o型环、陶瓷样品架、陶瓷加热坩埚以及热电偶组成;所述陶瓷加热坩埚位于台体内部;所述热电偶与陶瓷加热坩埚底部接触,用于测试温度;所述陶瓷样品架放置于陶瓷加热坩埚内部;所述台体壁内部有循环冷却水通道;所述台体壁外部有温度控制器接口、循环冷却水进出口和气体进出气口;所述台体上端开口,且开口端设有盖窗;所述台体与盖窗构成封闭体,盖窗上端有用于固定盖窗的台盖,台体与台盖螺纹连接;所述台盖中部开有通孔,可以与反射光显微镜和光谱技术一起使用。
2.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述陶瓷加热坩埚为三层结构,外层和内层为陶瓷,中间层为铂金丝电阻线圈,铂金丝电阻线圈缠绕在内层的陶瓷上,通过对电阻线圈的电流控制,实现陶瓷加热坩埚的加热功能。
3.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述陶瓷样品架可拆卸,用于盛放样品,该样品架由陶瓷加热坩埚加热。
4.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述控制热电偶为K型热电偶,用于实时测量温度。
5.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述盖窗采用石英材料加工而成,具有很好的耐高温性能和透光性能。
6.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述温度控制系统接口外接温度控制器,控制高温高压冷热台以0.1~200°C/min的速率加热。
7.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述循环冷却水进出口外接水循环泵,可以在加热时对壳体进行降温,避免壳体过热。
8.如权利要求1所述一种高温高压冷热台,其特征在于,所述进出气口均连接高压阀,气体通过高压阀引入,然后在通过样品之前由陶瓷样品架加热,进入样品室与样品反应,反应完毕后,沿着样品室从上到下排到高压出口阀,可连接到各种气体分析设备。
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