[发明专利]高度计在审
| 申请号： | 202010868283.7 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112440170A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 千岛一史;浦山孝世 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B47/20;B24B49/02;B24B27/00;H01L21/67;G01B5/08;G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高度计 | ||
【权利要求书】：
1.一种高度计，其是使探针与被测量物的上表面接触而对该被测量物的上表面高度进行测量的接触式的高度计，其特征在于，
该探针按照表面电阻值为1×104Ω至1×109Ω的方式构成。
2.根据权利要求1所述的高度计，其中，
该探针是对非导电性材料分散导电性颗粒而形成的，
按照50体积％以上且150体积％以下的混配率混配该导电性颗粒。
3.根据权利要求2所述的高度计，其中，
该导电性颗粒为硅颗粒。
4.根据权利要求2所述的高度计，其中，
该非导电性材料包含氧化铝。
5.根据权利要求2所述的高度计，其中，
该非导电性材料包含结合剂。
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