[发明专利]VCSEL单元单独可控的激光器

权利要求书

1.一种VCSEL单元单独可控的激光器，其特征在于：包括驱动电路模块（1）、VCSEL模块（2）和微透镜模块（3），所述驱动电路模块（1）和VCSEL模块（2）电性连接，所述微透镜模块（3）设于VCSEL模块（2）上；

所述VCSEL模块（2）包括VCSEL单元（21）形成的VCSEL阵列和共阴极单元（22），所述共阴极单元（22）设于VCSEL阵列的四周；

所述VCSEL单元（21）包括独立阳极（210）和独立阴极（211），所述独立阴极（211）均电性连接至共阴极单元（22），所述共阴极单元（22）电性连接至驱动电路模块（1）的地端，所述独立阳极（210）电性连接至驱动电路模块（1）的正极端；

所述VCSEL单元（21）的数量为M×N个，M为VCSEL阵列的行数，N为VCSEL阵列的列数，M为大于1的整数，N为大于1的整数，所述VCSEL单元（21）和共阴极单元（22）构成（M+2k）×（N+2k）阵列，2k为共阴极单元（22）的总行数或总列数， k为大于或者等于1的整数；

所述驱动电路模块（1）包括驱动单元（11）和接地单元（12），所述驱动单元（11）对应地设于VCSEL单元（21）下并与其电性连接，所述接地单元（12）对应地设于共阴极单元（22）下并与其电性连接；

所述VCSEL单元（21）从下而上包括依次堆叠的n型接触层（206）、n型DBR层（205）、有源层（204）、电流限制层（203）、p型DBR层（202）和第一凸点金属层（201），所述n型接触层（206）中形成凹部（2061），所述凹部（2061）与独立阴极（211）相连，所述p型DBR层（202）与独立阳极（210）相连；所述第一凸点金属层（201）与独立阳极（210）相连，所述独立阳极（210）通过第一凸点金属层（201）电性连接至驱动电路模块（1）的正极端；

所述VCSEL单元（21）还包括金属格栅（208），所述金属格栅（208）的一部分与独立阴极（211）相连，另一部分覆盖共阴极单元（22）；所述共阴极单元（22）从下而上依次包括共阴极本体和第二凸点金属层（2011），所述金属格栅（208）部分覆盖共阴极本体，所述第二凸点金属层（2011）与共阴极单元（22）顶端的金属格栅（208）相连，通过第二凸点金属层（2022），引出至共阴极单元（22）上的独立阴极（211）均电性连接至驱动电路模块（1）的地端；

所述微透镜模块（3）包括微透镜单元（31）形成的微透镜阵列，所述VCSEL阵列的出光面与微透镜阵列的焦平面重合，所述共阴极单元（22）上方对应的微透镜模块（3）的位置上设有透镜单元（31）。

2.根据权利要求1所述的VCSEL单元单独可控的激光器，其特征在于：所述驱动电路模块（1）还包括控制单元和I/O接口单元，所述I/O接口单元、控制单元和驱动单元（11）依次电性相连，所述I/O接口单元接收外部信号并反馈给控制单元，所述控制单元根据外部信号处理得到选址信号和数据信号，并将选址信号和数据信号传输给驱动单元（11），以使各驱动单元对应控制各VCSEL单元（21）的开启和关断。

3.根据权利要求1所述的VCSEL单元单独可控的激光器，其特征在于：所述微透镜阵列为蓝宝石微透镜阵列、玻璃微透镜阵列或树脂微透镜阵列。