[发明专利]氧化镓纳米棒及其制备方法和光电探测器件有效
| 申请号： | 202010868714.X | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN112111711B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 吕有明;荣曦明;伍锦捷;韩舜;曹培江;朱德亮;柳文军;刘新科;许望颖;方明 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/02;C23C14/08;H01L31/032;H01L31/0352;C01G15/00;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张杨梅 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 及其 制备 方法 光电 探测 器件 | ||
1.一种氧化镓纳米棒的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
提供基底和氧化镓靶材，并固定于可抽真空的腔体中；
向所述腔体中通入氧气和惰性气体，所述氧气的通入速度为1～10sccm，所述惰性气体的通入速度为3～30sccm，并保持所述腔体的压强为0.11～2.0Pa，然后开启脉冲激光器进行脉冲激光沉积，形成氧化镓纳米棒。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，向所述腔体中通入氧气和惰性气体的步骤之前还包括：对所述腔体抽真空至本底真空度，然后加热所述基底至工作温度；
其中，所述本底真空度小于或等于6×10-5；
所述工作温度为550～650℃。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，开启脉冲激光器进行脉冲激光沉积的步骤中，控制激光能量为250～300mJ、且脉冲频率为2～3Hz。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述脉冲激光沉积的时间为0.5～2小时。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，固定在腔体中的所述基底和所述氧化镓靶材的相对距离为50～60mm。
6.如权利要求1至5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述惰性气体选自氩气、氦气、氖气、氪气、氙气和氡气中的至少一种。
7.如权利要求1至5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述氧化镓靶材的纯度为99.99％～99.999％。
8.如权利要求1至5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述基底选为蓝宝石衬底。
9.一种氧化镓纳米棒，其特征在于，由权利要求1至8任一项所述的制备方法制得。
10.一种光电探测器件，其特征在于，包括光敏材料，所述光敏材料包括权利要求9所述的氧化镓纳米棒。
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