[发明专利]光热反射显微热成像装置、漂移修正方法及漂移修正装置

权利要求书

1.一种用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，基于一种光热反射显微热成像装置；

所述光热反射显微热成像装置包括：在原光热反射显微热成像装置上增加调制片和调光装置；

所述调制片设置在所述原光热反射显微热成像装置中的准直透镜和分束器之间，且位于所述准直透镜的焦面上；

所述调光装置设置在所述原光热反射显微热成像装置的光路上，用于使经所述调制片调制后的照明光不经被测样品表面直接在像面成像；

所述原光热反射显微热成像装置采用落射式照明和无限远校正的显微成像系统，包括光源、散射片、准直透镜、分束器、检测台、被测物、物镜、结像透镜和相机传感器；

所述光源置于所述散射片前面，用于发出照明光；

所述散射片用于对所述光源发出的照明光进行散射；

置于所述散射片后的所述准直透镜，用于对散射后的照明光进行准直处理，使所述照明光平行照射，形成光路；

所述分束器位于所述原光热反射显微热成像装置的光路和成像通路的交点上，所述分束器位于所述调制片后面、所述原光热反射显微热成像装置中的物镜和结像透镜之间，且与水平面成预设角度倾斜设置；

所述检测台、所述被测物、所述物镜、所述结像透镜和所述相机传感器构成成像通路，与所述光路垂直，被测物置于所述检测台上方，所述物镜设置在所述被测物上方，所述结像透镜置于所述物镜上方，所述相机传感器置于结像透镜上方，所述物镜和所述结像透镜配合形成一个倒立放大的像；

其中，所述调光装置，包括：衰减片和反射镜；

所述衰减片和所述反射镜分别设置在所述分束器直通路上，且所述衰减片位于所述反射镜前面；

所述用于光热反射显微热成像的漂移修正方法包括：

遮断物镜侧光路，采集光热反射显微热成像装置中像面处的相机传感器的第一图像；

去掉物镜侧光路上的遮挡，采集被测物分别在参考时刻的参考图像和除所述参考时刻之外的任意时刻的待修正图像，并对所述第一图像、所述参考图像和所述待修正图像进行频域处理，得到处理后的第一图像、处理后的参考图像和处理后的待修正图像；

对所述处理后的第一图像进行频率处理，得到第二图像；

根据所述第二图像、所述处理后的参考图像和所述处理后的待修正图像计算修正系数；

根据所述修正系数修正所述待修正图像的所有像素，得到修正后的图像。

2.如权利要求1所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，所述对所述第一图像、所述参考图像和所述待修正图像进行频域处理，得到处理后的第一图像、处理后的参考图像和处理后的待修正图像，包括：

对所述第一图像、所述参考图像和所述待修正图像进行傅里叶变换，得到变换后的第一图像、变换后的参考图像和变换后的待修正图像。

3.如权利要求1或2所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，所述对所述处理后的第一图像进行频率处理，得到第二图像，包括：

将处理后的第一图像中零频率点数据修改为零，得到第二图像。

4.如权利要求3所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，在所述对所述处理后的第一图像进行频率处理，得到第二图像之后，还包括：

对所述第二图像进行高通滤波。

5.如权利要求4所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，所述根据所述第二图像、所述处理后的参考图像和所述处理后的待修正图像计算修正系数，包括：

根据计算修正系数；

其中，f表示修正系数，T表示采集的被测物的图像的全画面对应的全频率范围或预设频率范围，H(u,v)表示第二图像，表示进行傅里叶变换后的参考图像，表示进行傅里叶变换后的待修正图像。

6.如权利要求5所述的用于光热反射显微热成像的漂移修正方法，其特征在于，所述根据所述修正系数修正所述待修正图像的所有像素，得到修正后的图像，包括：

根据c_x'(x,y)＝fc_x(x,y)得到修正后的图像；

其中，c_x'(x,y)表示修正后的图像，c_x(x,y)表示待修正图像。