[发明专利]一种实时监测真空仪表

权利要求书

1.一种实时监测真空仪表，其特征在于，包括真空规管以及分别与所述真空规管之间数据连接的第一远程数据传输模块和第二远程数据传输模块；

所述第一远程数据传输模块通过第一数据传输通道连接控制设备；

所述第二远程数据传输模块通过第二数据传输通道连接控制设备；

所述第一远程数据传输模块为无线网络传输模块，所述第一数据传输通道为无线数据传输通道；所述第二远程数据传输模块有线连接传输中继设备并通过所述传输中继设备建立所述第二数据传输通道；

所述第一远程数据传输模块和第二远程数据传输模块还具有相互连接的第三数据传输通道；

所述真空仪表通过执行如下步骤的真空检测控制方法进行真空检测控制：

S1、真空规管测量得到真空度测量值；

S2、第一远程数据传输模块采集并分析真空度测量值得到第一真空度数据并通过第一数据传输通道发送至控制设备，第一远程数据传输模块将第一真空度数据通过第三数据传输通道发送至第二远程数据传输模块；

S3、第二远程数据传输模块采集并分析真空度测量值得到第二真空度数据并通过第二数据传输通道发送至控制设备，第二远程数据传输模块将第一真空度数据通过第二数据传输通道发送至控制设备；

S4、控制设备通过第一真空度数据与第二真空度数据计算得到真空度控制参数。

2.如权利要求1所述的真空仪表，其特征在于，所述真空规管为电阻规管与冷阴极电离规管的任意一种或两种组合。

3.如权利要求1所述的真空仪表，其特征在于，所述第三数据传输通道为有线连接数据传输通道。

4.如权利要求1所述的真空仪表，其特征在于，所述步骤S4包括以下子步骤：

S41、控制设备比对接收自第一远程数据传输模块的第一真空度数据与接收自第二远程数据传输模块的第一真空度数据是否一致；

S42、当接收自第一远程数据传输模块的第一真空度数据与接收自第二远程数据传输模块的第一真空度数据不一致时，直接反馈代表错误警告的真空度控制参数；

S43、当接收自第一远程数据传输模块的第一真空度数据与接收自第二远程数据传输模块的第一真空度数据一致时，控制设备比对第一真空度数据与第二真空度数据是否一致；

S44、当第一真空度数据与第二真空度数据一致时，反馈代表该一致真空度数据的真空度控制参数；

S45、当第一真空度数据与第二真空度数据不一致时，计算第一真空度数据与第二真空度数据的算数误差值，并判断算数误差值是否大于误差阈值；

S46、当算数误差值不大于误差阈值时，反馈代表第一真空度数据与第二真空度数据算数平均值的真空度控制参数；

S47、当算数误差值大于误差阈值时，反馈代表错误警告的真空度控制参数。

5.一种分子蒸馏设备，其特征在于，所述分子蒸馏设备包括如权利要求1所述的真空仪表，采用所述的真空检测控制方法进行真空度监测控制。