[发明专利]功能模组及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种功能模组，其特征在于，包括：

衬底；及

吸收层，设置在所述衬底上，所述吸收层含有硒元素和锡元素；及

势垒层，设置在所述吸收层的远离所述衬底的一侧上，所述势垒层含有锗元素；

所述势垒层为铜镉锌锗硒薄膜层或者铜锌锗硒薄膜层；

及/或，所述吸收层为铜锌锡硒薄膜层或者铜镉锌锡硒薄膜层。

2.根据权利要求1所述的功能模组，其特征在于，所述吸收层的厚度为1.0μm～1.5μm；

及/或，所述势垒层的厚度为90nm～110nm。

3.根据权利要求1所述的功能模组，其特征在于，所述功能模组还包括第一电极、缓冲层、第二电极和栅极层，所述第一电极设置在所述衬底及所述吸收层之间，所述缓冲层设置在所述势垒层的远离所述吸收层的一侧上，所述第二电极设置在所述缓冲层的远离所述势垒层的一侧上，所述栅极层设置在所述第二电极的远离所述缓冲层的一侧上。

4.一种如权利要求1所述的功能模组的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

采用第一靶材在衬底上形成吸收层，所述第一靶材含有硒元素和锡元素；及

采用第二靶材在所述吸收层的远离所述衬底的一侧上形成势垒层，得到功能模组，所述第二靶材含有锗元素；

所述第一靶材还含有铜元素及锌元素；所述第二靶材还含有铜元素、锌元素和硒元素；

或者，所述第一靶材还含有铜元素、锌元素及镉元素；所述第二靶材还含有铜元素、锌元素、硒元素及镉元素。

5.根据权利要求4所述的功能模组的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将所述衬底置于镀膜设备，所述镀膜设备具有铜靶源、镉靶源、锌靶源、锡靶源、硒靶源、锗靶源；

开启所述铜靶源、所述镉靶源、所述锌靶源、所述锡靶源、所述硒靶源并关闭所述锗靶源，以在所述衬底上真空蒸镀所述述吸收层；

开启所述锗靶源和所述硒靶源并关闭所述铜靶源、所述镉靶源、所述锌靶源、所述锡靶源，以在所述吸收层的远离所述衬底的一侧真空蒸镀所述势垒层；及

关闭所述锗靶源、所述铜靶源、所述镉靶源、所述锌靶源、所述锡靶源，并开启所述硒靶源，以对形成有所述势垒层和所述吸收层的所述衬底进行硒化处理。

6.根据权利要4所述的功能模组的制备方法，其特征在于，采用第一靶材在衬底上蒸镀形成吸收层的步骤包括：在所述衬底上形成第一电极，采用所述第一靶材在所述第一电极的远离所述衬底的一侧上形成所述吸收层；

所述采用第二靶材在所述吸收层的远离所述衬底的一侧上形成势垒层的步骤之后，还包括如下步骤：在所述势垒层的远离所述吸收层的一侧依次形成层叠的缓冲层、第二电极和栅极层。

7.一种电子器件，其特征在于，包括权利要求1～3任一项所述的功能模组或者权利要求4～6任一项所述的功能模组的制备方法制备得到的功能模组。

8.根据权利要求7所述的电子器件，其特征在于，所述电子器件为红外探测器或者太阳能电池。