[发明专利]振动器件

说明书

提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。

技术领域

本发明涉及振动器件。

背景技术

在专利文献1中记载了振动器件，该振动器件具有：基座；振动元件；以及中继基板，其设置成与振动元件重叠，将振动元件固定于基座。

专利文献1：日本特开2018-159674号公报

在这样的结构的振动器件中，中继基板与振动元件设置成重叠，并且它们之间的间隙较小。因此，在振动元件的驱动臂、检测臂由于来自外部的冲击等而在其厚度方向上挠曲时，驱动臂、检测臂容易与中继基板接触，驱动臂、检测臂有可能由于该接触而损坏。

发明内容

本应用例的振动器件的特征在于，具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于所述振动基板；基体；支承基板，其具有固定于所述基体的基体固定部、支承所述振动元件的元件支承部和将所述基体固定部与所述元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于所述基体支承所述振动元件；布线图案，其配置于所述支承基板，与所述振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置在所述支承基板的所述布线图案上，硬度比所述支承基板低，所述缓冲部件配置于所述支承基板的与所述振动元件相对的面侧，在俯视所述支承基板时，所述缓冲部件与所述振动臂重叠。

在本应用例的振动器件中，优选的是，在俯视所述支承基板时，所述缓冲部件与所述振动臂的末端重叠。

在本应用例的振动器件中，优选的是，在俯视所述支承基板时，所述缓冲部件不与位于所述末端的角重叠。

在本应用例的振动器件中，优选的是，所述缓冲部件具有在俯视所述支承基板时与位于所述末端的所述振动臂的宽度方向上的一侧的角重叠的第1部分、以及与位于另一侧的角重叠的第2部分，所述第1部分与所述第2部分在所述宽度方向上分离。

在本应用例的振动器件中，优选的是，在俯视所述支承基板时，所述缓冲部件在从所述振动臂的末端起向基端侧偏离的位置处与所述振动臂重叠。

在本应用例的振动器件中，优选的是，所述振动基板的构成材料为石英，所述支承基板的构成材料为石英。

在本应用例的振动器件中，优选的是，所述缓冲部件的构成材料为金属。

在本应用例的振动器件中，优选的是，所述布线图案具有与恒定电位连接的恒定电位布线，所述缓冲部件与所述恒定电位布线电连接。

在本应用例的振动器件中，优选的是，在设相互垂直的3个轴为A轴、B轴和C轴时，所述振动元件与所述支承基板配置成在沿着所述C轴的方向上重叠，

所述振动元件具有：

元件基部，其经由接合部件而固定于所述元件支承部；

作为所述振动臂的一对检测臂，它们从所述元件基部起沿着所述B轴延伸；

一对连接臂，它们从所述元件基部起沿着所述A轴延伸；

作为所述振动臂的一对驱动臂，它们从一个所述连接臂的末端起沿着所述B轴延伸；以及

作为所述振动臂的一对驱动臂，它们从另一个所述连接臂的末端起沿着所述B轴延伸。

附图说明

图1是示出第1实施方式的振动器件的剖视图。