[发明专利]一种高浓CF显影液及其制备方法在审
申请号: | 202010875693.4 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN112099321A | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 何珂;戈士勇;汤晓春 | 申请(专利权)人: | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 林友琴 |
地址: | 214400 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cf 显影液 及其 制备 方法 | ||
1.一种高浓CF显影液,其特征在于:其组分及其重量百分数为:5-15%的无机强碱、3-20%的表面活性剂、1-2%的促溶剂、0.01-2%的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1,余量为高纯水。
2.根据权利要求1所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为在15-25℃具有催化活性的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1。
3.根据权利要求2所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为猪肝酯酶EC3.1.1.1。
4.根据权利要求3所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述猪肝酯酶EC3.1.1.1的含量为0.1-1%。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的CF显影液,其特征在于:所述促溶剂为氮甲基甲酰胺或N,N-二甲基甲酰胺中的一种或两种。
6.根据权利要求5所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述表面活性剂为非离子表面活性剂。
7.根据权利要求6所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述表面活性剂为链状脂肪醇聚醚类非离子表面活性剂。
8.根据权利要求7所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述表面活性剂的浓度为3-6%。
9.根据权利要求1所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述无机强碱为氢氧化钾、氢氧化钠或碳酸钠。
10.权利要求1所述的高浓CF显影液的制备方法,其特征在于:所述显影液是通过将无机强碱、表面活性剂、促溶剂、羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、高纯水按比例调配、搅拌溶解后,依次经过0.5微米、0.2微米的滤芯过滤后得到。
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