[发明专利]一种高浓CF显影液及其制备方法在审
| 申请号： | 202010875693.4 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112099321A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何珂;戈士勇;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 林友琴 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cf 显影液 及其 制备 方法 | ||
1.一种高浓CF显影液，其特征在于：其组分及其重量百分数为：5-15％的无机强碱、3-20％的表面活性剂、1-2％的促溶剂、0.01-2％的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1，余量为高纯水。
2.根据权利要求1所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为在15-25℃具有催化活性的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1。
3.根据权利要求2所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为猪肝酯酶EC3.1.1.1。
4.根据权利要求3所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述猪肝酯酶EC3.1.1.1的含量为0.1-1％。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的CF显影液，其特征在于：所述促溶剂为氮甲基甲酰胺或N，N-二甲基甲酰胺中的一种或两种。
6.根据权利要求5所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述表面活性剂为非离子表面活性剂。
7.根据权利要求6所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述表面活性剂为链状脂肪醇聚醚类非离子表面活性剂。
8.根据权利要求7所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述表面活性剂的浓度为3-6％。
9.根据权利要求1所述的高浓CF显影液，其特征在于：所述无机强碱为氢氧化钾、氢氧化钠或碳酸钠。
10.权利要求1所述的高浓CF显影液的制备方法，其特征在于：所述显影液是通过将无机强碱、表面活性剂、促溶剂、羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、高纯水按比例调配、搅拌溶解后，依次经过0.5微米、0.2微米的滤芯过滤后得到。
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