[发明专利]一种高浓CF显影液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010875693.4 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN112099321A 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 何珂;戈士勇;汤晓春 申请(专利权)人: 江苏中德电子材料科技有限公司
主分类号: G03F7/32 分类号: G03F7/32
代理公司: 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 林友琴
地址: 214400 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 cf 显影液 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种高浓CF显影液,其特征在于:其组分及其重量百分数为:5-15%的无机强碱、3-20%的表面活性剂、1-2%的促溶剂、0.01-2%的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1,余量为高纯水。

2.根据权利要求1所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为在15-25℃具有催化活性的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1。

3.根据权利要求2所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述羧酸酯水解酶EC3.1.1.1为猪肝酯酶EC3.1.1.1。

4.根据权利要求3所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述猪肝酯酶EC3.1.1.1的含量为0.1-1%。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的CF显影液,其特征在于:所述促溶剂为氮甲基甲酰胺或N,N-二甲基甲酰胺中的一种或两种。

6.根据权利要求5所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述表面活性剂为非离子表面活性剂。

7.根据权利要求6所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述表面活性剂为链状脂肪醇聚醚类非离子表面活性剂。

8.根据权利要求7所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述表面活性剂的浓度为3-6%。

9.根据权利要求1所述的高浓CF显影液,其特征在于:所述无机强碱为氢氧化钾、氢氧化钠或碳酸钠。

10.权利要求1所述的高浓CF显影液的制备方法,其特征在于:所述显影液是通过将无机强碱、表面活性剂、促溶剂、羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、高纯水按比例调配、搅拌溶解后,依次经过0.5微米、0.2微米的滤芯过滤后得到。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏中德电子材料科技有限公司,未经江苏中德电子材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010875693.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top