[发明专利]振动器件

权利要求书

1.一种振动器件，其特征在于，具有：

振动元件，其根据绕检测轴的物理量进行检测振动；

基座；以及

支承件，其相对于所述基座支承所述振动元件，

在从所述支承件的厚度方向俯视时，所述支承件具有：

框状的框架；

底座，其配置在所述框架的外侧，并固定于所述基座；

元件保持架，其配置在所述框架的内侧，搭载有所述振动元件；

一对第1梁，它们从所述元件保持架起沿着第1方向延伸，将所述元件保持架和所述框架连接起来；以及

一对第2梁，它们从所述框架起沿着与所述第1方向不同的第2方向延伸，将所述框架和所述底座连接起来，

在所述俯视时，将所述第1梁在所述第1方向上的长度设为L1μm、所述第1梁在与所述第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1μm时，满足：

W1²/L1＜30。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，所述振动器件满足：

W1²/L1＜12.5。

3.根据权利要求1或2所述的振动器件，其中，

在将相互垂直的3个轴设为A轴、B轴和C轴时，

所述支承件的厚度方向沿着所述C轴，

所述振动元件具有：

元件基座，其固定于所述元件保持架；

一对检测臂，它们从所述元件基座起沿着所述B轴延伸；

一对连接臂，它们从所述元件基座起沿着所述A轴延伸；

一对驱动臂，它们从一个所述连接臂的末端起沿着所述B轴延伸；以及

一对驱动臂，它们从另一个所述连接臂的末端起沿着所述B轴延伸。

4.根据权利要求3所述的振动器件，其中，

所述第1方向沿着所述A轴，

所述第2方向沿着所述B轴。

5.根据权利要求3所述的振动器件，其中，

在从沿着所述C轴的方向观察的俯视时，所述元件保持架和所述元件基座为相同的形状。

6.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述支承件具有一对第3梁，所述第3梁从所述框架起沿着所述第1方向延伸，并将所述框架和所述底座连接起来，

所述一对第3梁和所述一对第1梁配置在一条直线上。