[发明专利]蒸镀装置

说明书

本发明提供以下蒸镀装置：在具有多个蒸镀源和与各蒸镀源相对应的开闭器的团簇型的蒸镀装置中，不会导致装置的大型化并且能够始终监视蒸镀速率。在具有蒸镀源(1、2)和控制蒸镀源(1、2)的蒸镀、非蒸镀的开闭器(5、6)的蒸镀装置中，使开闭器(5、6)的高度彼此不同，将该开闭器(5、6)配置为在开状态下彼此重叠，并且配置有在开状态下将开闭器(5、6)之间分隔的分隔壁(12)。

技术领域

本发明涉及一种具有多个蒸镀源的蒸镀装置。

背景技术

近年来，有机发光元件作为能够通过低电压驱动而进行高亮度发光的发光元件受到关注。构成这样的发光元件的有机材料具有高分子材料和低分子材料。使用低分子材料的发光元件通常通过真空蒸镀法形成。有机发光元件由多个功能层形成，作为功能层，具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层以及电子注入层等，这些功能层在阳极与阴极之间依次通过蒸镀形成。

通常使用的蒸镀装置具有直列型和团簇型。直列型适合宽幅基板的成膜，另一方面，团簇型从小型基板到大型基板都能够进行符合用途的应对。此外，针对发光元件的层结构变更，也容易追加蒸镀室，能够灵活地应对。在团簇型的蒸镀装置中，在考虑到交叉污染、生产节拍等的情况下，基本上期望针对每一层设置腔室。但是，为了抑制装置成本且使装置小型化而减少蒸镀室的数量或者同时蒸镀多个材料，因此，有时在同一腔室内蒸镀不同的多个材料。

日本特开2015-124440号公报(以下称为PTL1)公开了一种具有多个蒸镀源的团簇型的蒸镀装置，在这样的蒸镀装置中，在各蒸镀源配置开闭器，通过该开闭器的开闭来控制蒸镀、非蒸镀。

如PTL1所公开的那样，在具有多个蒸镀源的蒸镀装置中，通过开闭器的开闭来控制蒸镀源的选择。

另一方面，在一个蒸镀室内依次形成多个层的情况下，为了缩短生产节拍，期望始终利用监视器测量蒸镀速率并预先进行控制，以使得各蒸镀源的蒸镀速率不发生变动。但是，在开闭器距蒸镀源较近的情况下，在开闭器关闭的状态下，开闭器造成妨碍而无法利用膜厚传感器监视蒸镀速率。因而，为了即使在开闭器关闭时也能够监视蒸镀速率，需要使开闭器在一定程度上远离蒸镀源。并且，在使开闭器远离蒸镀源的状态下，为了防止在开闭器关闭时来自蒸镀源的蒸发物附着于被蒸镀基板，需要加大开闭器的尺寸。

当加大开闭器的尺寸时，需要加大相邻的蒸镀源的间隔，以便在同时打开多个开闭器的情况下开闭器彼此不会干涉，存在导致蒸镀室的尺寸大型化这样的问题。

发明内容

本公开的目的在于提供以下蒸镀装置：在具有多个蒸镀源和与各蒸镀源相对应的开闭器的团簇型的蒸镀装置中，不会导致装置的大型化并且能够始终监视蒸镀速率。

本发明是具有在水平方向上排列配置的两个蒸镀源和配置于所述两个蒸镀源各自的开口部的上方的两个开闭器的蒸镀装置，其特征在于，

所述两个开闭器的高度彼此不同，且通过在水平方向上移动而进行开闭，在从铅垂方向俯视时，具有在开状态下彼此重叠的区域，

所述蒸镀装置在所述重叠的区域具有将所述两个开闭器之间分隔的分隔壁。

通过以下示例性的实施例的描述(参考附图)，本发明的进一步特征将变得明确。

附图说明

图1是示意地表示本发明的蒸镀装置的一实施方式的结构的剖视图。

图2是示意地表示本发明的蒸镀装置的其他实施方式的结构的剖视图。

图3的(a)、(b)分别是从上方观察图1、图2的蒸镀装置的俯视概略图。

图4是示意地表示以往的蒸镀装置的结构的剖视图。

图5是示意地表示将第一开闭器和第二开闭器设为彼此不同的高度的蒸镀装置的结构的剖视图。