[发明专利]一种石英管组件及其真空检验方法

权利要求书

1.一种石英管组件真空检验方法，其特征在于，包括：

获得初次真空封接后待检验的石英管组件，所述石英管组件具有第一真空度；

对所述石英管组件进行再次抽真空，得到再次抽真空后的所述石英管组件的第二真空度；

比较所述第二真空度与所述第一真空度的大小；

若所述第二真空度不大于所述第一真空度，则所述石英管组件检验合格；

所述对所述石英管组件进行再次抽真空之前，还包括：

利用热源对所述石英管组件的底部进行加热处理；

其中，所述获得初次真空封接后待检验的石英管组件包括：

获得石英管；

将汞置于所述石英管的底部，将碲镉汞晶片置于所述石英管的中部，并将石英套管装入所述石英管顶部内，得到待处理石英管组件；

对所述待处理石英管组件进行抽真空，使所述待处理石英管组件的真空度为所述第一真空度；

利用氢氧焰对所述石英管和所述石英套管进行烧结，使所述石英管和所述石英套管烧结在一起，冷却后得到待检验的石英管组件。

2.如权利要求1所述的石英管组件真空检验方法，其特征在于，所述对所述石英管组件进行再次抽真空包括：

将所述石英管组件安装在高真空泵组排气台上，打开高真空泵组对所述石英管组件进行抽真空。

3.如权利要求1所述的石英管组件真空检验方法，其特征在于，所述对所述待处理石英管组件进行抽真空包括：

将所述待处理石英管组件安装在高真空泵组排气台上，打开高真空泵组对所述待处理石英管组件进行抽真空。

4.如权利要求2所述的石英管组件真空检验方法，其特征在于，所述热源的温度为50℃±5℃。

5.一种石英管组件，其特征在于，所述石英管组件由如权利要求1至4任一项所述的石英管组件真空检验方法检验合格后得到。