[发明专利]一种电子级盐酸的制备工艺

说明书

本发明公开了一种电子级盐酸的制备工艺，涉及电子级盐酸的制备工艺技术领域，为解决现有的电子级盐酸的制备工艺制备的性能还不够完善，工作效率较慢的问题。步骤1、对盐酸进行输送；步骤2、盐酸中间槽32％盐酸经由输送泵输送至预热器，预热后送入纯化塔；骤3、开启循环泵进行循环，当循环槽内盐酸浓度大于36％时，根据实际情况加入超纯水进行浓度调整，调整达标后进入成品槽；步骤4、成品槽内产品再依据客户不同需求，经高精密过滤后充填成各种不同包材；排污环节，主要为盐酸各储槽、中间槽、成品槽及循环槽等产生的盐酸雾，经二级水洗加一级碱洗尾气处理系统处理后排放。

技术领域

本发明涉及电子级盐酸的制备工艺技术领域，具体为一种电子级盐酸的制备工艺。

背景技术

目前，我国高纯电子级化学品大多依赖进口，随着国内电子行业向着高集成化、高均匀性及高完整性的飞速的发展，对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级盐酸的要求也越来越高。除了纯度到达9999％以上，还要求盐酸的HCl、H2O和金属离子等有机杂质的含量越来越低，电子级盐酸在我们生活的各个领域中具有广泛的应用，如医药、化工、半导体、大规模集成电路等行业。电子级盐酸主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清洗钠离子。另外高纯盐酸还用于金属表面化学处理，激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多依赖进口，近年来技术得到不少突破。电子级盐酸产品附加值高，利润丰厚，属于精细化工品，投资少，技术含量高。目前仅有少数厂家进行电子级盐酸的生产。随着国家光伏行业和新能源的快速发展。

但是，现有的电子级盐酸的制备工艺制备的性能还不够完善，工作效率较慢；因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种电子级盐酸的制备工艺。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子级盐酸的制备工艺，以解决上述背景技术中提出的现有的电子级盐酸的制备工艺制备的性能还不够完善，工作效率较慢的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种电子级盐酸的制备工艺，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1、对盐酸进行输送，32％盐酸先由槽车送至盐酸储槽存放，生产前，32％合成盐酸通过原料输送泵输送至活性炭吸附塔(200-300kg/h)，将其中所含有的游离氯或是有机物去除并暂存于盐酸中间槽；

步骤2、盐酸中间槽32％盐酸经由输送泵输送至预热器，预热后送入纯化塔，纯化塔塔底液位控制在30％-50％，打开再沸器蒸气阀门，再沸器使用0.6kg/cm2蒸汽，纯化塔利用共沸蒸馏原理纯化生产气态盐酸(36％HCL)气态盐酸经纯化塔塔项进入冷凝器，冷凝至25-30℃后经吸收塔进入到循环槽；

步骤3、开启循环泵进行循环，当循环槽内盐酸浓度大于36％时，根据实际情况加入超纯水进行浓度调整，调整达标后进入成品槽；

步骤4、成品槽内产品再依据客户不同需求，经高精密过滤后充填成各种不同包材；盐酸制造过程中，纯化塔排出含杂质多的盐酸，经过预热器进行冷却后，进入副产品槽；吸收塔底部排出含杂质多的盐酸，也进入副产品槽，得到副产品工业级盐酸(21％)；

步骤5、排污环节，主要为盐酸各储槽、中间槽、成品槽及循环槽等产生的盐酸雾，经二级水洗加一级碱洗尾气处理系统处理后排放，尾气处理系统产生的废水及再沸器使用蒸汽产生的冷凝水及冷凝器产生的冷却循环水，活性炭吸附及高精密过滤产生的废滤材及各泵体、电机产生的设备噪声。