[发明专利]一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺

权利要求书

1.一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，包括下列步骤：

S1、将待涂胶的玻璃基板从清洗工位输送至涂胶工位入口处，进行静电除尘。

S2、将静电出尘后的玻璃基板传输到涂胶工位内，调整光刻胶涂布参数，将光刻胶均匀涂抹到玻璃基板上；

S3、将涂覆光刻胶后的玻璃基板，传输至烘烤区域，常温凝固5分钟；

S4、开始首次预烘烤，烘烤温度控制在115～125℃，烘烤区域相对湿度≤1.5g/m³，然后空冷5min；

S5、将步骤S4涂覆光刻胶后的玻璃基板，进行二次固化烘烤，烘烤温度130～140℃，空冷至室温；

S6、然后将步骤S5处理后的玻璃输送至灯光检测区，进行质量检验，检测区域灯光强度≥1500Lux，将合格的涂胶后的玻璃移送至专用盛具中，将不合格的玻璃放置回收盛具中，即完成所述生产涂胶艺。

2.根据权利要求1所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，步骤S1中，所述玻璃基板在涂胶工位入口通过热风机吹干表面水渍。

3.根据权利要求1所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，步骤S2中，所述光刻胶涂布参数设置有涂布速度和压力间距。

4.根据权利要求3所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，所述涂布机停止工时，对涂布机进行清理，用稀释剂将涂布轮、压轮上及两端感光胶清洁干净。

5.根据权利要求1所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，步骤S4中，烘烤方式通过热辐射式进行加热，保证受热均匀。

6.根据权利要求1所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，步骤S4中，烘烤时间为90s～100s。

7.根据权利要求1所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，步骤S5中，烘烤时间为70s～80s。

8.根据权利要求1所述的一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺，其特征在于，步骤S6中，将所述不合格的玻璃在脱膜段或碱槽进行返工脱膜，并清洗，准备二次涂胶。