[发明专利]一种拾取装置

说明书

本发明实施方式涉及制造技术领域，公开了一种拾取装置，包括：磁化部、与磁化部连接的拾取器；所述磁化部用于磁化所述拾取器；所述拾取器包括弯曲部；所述弯曲部用于吸附金属颗粒物。本发明中提供的一种拾取装置，利用此拾取装置能够去物体(例如掩膜板)表面的金属颗粒物、且极大地降低了损伤物体表面的概率。

技术领域

本发明实施方式涉及制造技术领域，特别涉及一种拾取装置。

背景技术

目前，在制作OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示屏的有机发光层的过程中，利用具有图案的掩膜板掩膜，并通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需要的图案。

掩膜板使用之后，表面会残留有金属颗粒。这些金属颗粒主要有三个来源：掩膜板本身含有少量的金属颗粒；重新加工过程中产生的金属颗粒(经过测试，重新加工一条掩膜板可产生100多个金属颗粒)；掩膜板运营过程摩擦产生的金属颗粒。清洗掩膜板时，这些金属颗粒在清洗过程中会掉落在清洗池内，造成清洗池内金属颗粒的含量增加，影响掩膜板的清洗效果和清洗液的洁净度。有些金属颗粒甚至会粘附在掩膜板上，造成掩膜板难以修复。而有些尺寸较大的金属颗粒还容易堵塞滤芯，减小滤芯的寿命。

发明内容

本发明实施方式的目的在于提供一种拾取装置，利用此拾取装置能够去除物体表面的金属颗粒物、且极大地降低了损伤物体表面的概率。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种拾取装置，包括：磁化部、与磁化部连接的拾取器；所述磁化部用于磁化所述拾取器；所述拾取器包括弯曲部；所述弯曲部用于吸附金属颗粒物。

另外，所述磁化部包括：夹持机构，所述夹持机构一端用于夹持所述拾取器；所述夹持机构另一端固定有导电线圈，所述拾取器至少部分伸入所述导电线圈内。该方案给出了磁化部的具体结构。

另外，所述拾取装置还包括：与所述导电线圈连接的调节开关；所述调节开关用于控制通入所述导电线圈的电流大小，以改变所述拾取器的磁性大小。该方案设置有与导电线圈连接的调节开关，调节开关能够控制通入导电线圈的电流大小，从而改变拾取器的磁性大小，实现对物体(例如掩膜板)表面上不同颗粒大小、不同质量的金属颗粒物的针对性拾取。

另外，所述拾取装置还包括：升降部、与所述升降部连接的转向部，所述转向部连接所述磁化部。该方案中拾取装置包括升降部和转向部，可带动磁化部升降和转动。

另外，所述升降部包括：第一升降部和第二升降部；所述第二升降部活动连接于所述第一升降部且所述第二升降部在所述转向部固定连接；第一升降部用于粗调所述转向部的高度，所述第二升降部用于微调所述转向部的高度。该方案设置用于粗调的第一升降部、以及用于微调的第二升降部，可实现不同程度的高度调节。

另外，在垂直于所述拾取器长度方向上，所述弯曲部的截面形状为圆形、椭圆形、或四角有弧度的方形。

另外，所述拾取器还包括：连接于所述磁化部和所述弯曲部之间的固定部，在垂直于所述拾取器长度方向上，所述固定部的截面上任意两点之间最宽的距离大于所述弯曲部的截面上任意两点之间最宽的距离。该方案固定部能够对弯曲部起到支撑作用。

另外，所述固定部的截面上任意两点之间最宽的距离大于或等于0.8毫米，所述弯曲部的截面上任意两点之间最宽的距离在0.5毫米～0.65毫米之间。该方案弯曲部能够吸附物体(例如掩膜板)表面上纳米级别的金属颗粒物，且固定部能够对弯曲部能够起到良好的支撑作用。

另外，所述固定部的长度范围在5厘米～6厘米，所述弯曲部的长度小于或等于0.4厘米。

另外，所述弯曲部的末端在所述固定部的延伸线上，所述弯曲部和所述固定部在连接处所构成的夹角大于120°；优选地，所述弯曲部和所述固定部在连接处所构成的夹角小于135°。