[发明专利]气体供应装置

说明书

本发明的目的在于提供一种气体供应装置：可以在替换气体储藏容器时将向盖分离部及连接器紧固部提供旋转驱动力的致动器设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置的同时能够顺畅地传递旋转驱动力。用于实现此目的的本发明包括：盖分离部，将覆盖容器上端的阀部所配备的阀连接器的盖分离；连接器紧固部，用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到阀连接器；致动器，为了盖的分离以及将连接配管连接器连接到阀连接器而向盖分离部和连接器紧固部提供旋转驱动力；动力传递部，将致动器的旋转驱动力传递至盖分离部及连接器紧固部且构成为实现平移及摇动，并且配备为将致动器可设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置。

技术领域

本发明涉及一种气体供应装置，尤其涉及一种如下的气体供应装置，即，在替换气体存储容器时，使向盖分离部及连接器紧固部提供旋转驱动力的致动器可以设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置的同时能够顺畅地传递旋转驱动力。

背景技术

通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备的执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。

为了有效地提供气体，许多种类的气体在高压状态下保管，尤其，具有易燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。

保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器分离并替换容器，之后将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器并再次供应气体。

在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的正常位置，但是若没有配备用于将容器放置到正常位置的自动化装置，则存在操作者难以将容器准确地放置到正常位置的问题。

当然，若配备有自动化装置，则能够将容器放置到正常位置，但是存在装置的构成复杂且制造成本高的问题。

考虑到这样的问题，正在开发一种半自动式气体供应装置：当替换容器时，在将容器放置于容器装载部之后，将配备有阀连接器的模块移动至操作者手动设定的位置而执行对准(align)作业，并且若如上所述的对准作业结束，则以自动化方式执行容器替换作业。

然而，现有的气体供应装置构成为如下的结构：提供用于使盖分离部和连接器紧固部旋转的驱动力的致动器一同安装到设置有所述盖分离部及连接器紧固部的模块，其中，所述盖分离部分离覆盖在容器上端的阀部配备的阀连接器的盖，连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到阀连接器。因此，模块的重量及体积变大，导致设置空间受到限制，并且存在操作者难以进行手动移动模块以进行对准的操作的问题。

并且，如上所述的现有的气体供应装置存在如下问题：当致动器发生故障时不易替换致动器，并且即使发生由于致动器故障而导致的紧急状况，也没有应对方法，从而可能引起更大的事故。

[现有技术文献]

[专利文献]

韩国公开专利第10-1998-0056124号

韩国授权专利第10-0857212号

韩国授权专利第10-1360312号

发明内容

本发明是为了解决上述的各种问题而提出的，其目的在于提供一种如下的气体供应装置：在替换气体存储容器时，使向盖分离部及连接器紧固部提供旋转驱动力的致动器可以设置于与设置有盖分离部及连接器紧固部的位置隔开的位置的同时能够顺畅地传递旋转驱动力。